Регулятор массового расхода MKS Instruments GV50A

Контроллер GV50A с цифровым управлением доступен с портами ввода/вывода RS485, Profibus, EtherCAT, PROFINET или DeviceNet. Электроника с цифровым управлением использует новейшие алгоритмы управления MKS для быстрого и воспроизводимого отклика на заданное значение во всем диапазоне управления устройством. Стандартное время отклика составляет порядка 600–800 миллисекунд. Все GE50A включают Modbus в качестве доступного вторичного ввода-вывода (за исключением PROFINET и EtherCAT). Цифровая калибровка обеспечивает точность калибровочного газа в 1% от заданного значения.

• Расход от 5 до 50 000 sccm
• Варианты уплотнительной заглушки и клапана из Витона, Буна, Неопрена или Калреза
• Широкий выбор цифровых (EtherCAT, DeviceNet, Profibus, PROFINET и RS485) или аналоговых (0–5 В или 4–20 мА) входов/выходов
• Скорость утечки запорного клапана менее 4x10E-09 atm-cc/sec He
• Время реагирования менее 750 миллисекунд

GV50A оснащён закрытым принудительным запорным клапаном мембранного типа, обеспечивающим закрытие до 4x109 см³/с гелия.

В конструкции GV50A используется минимальное количество эластомеров. Имеется только одно внешнее уплотнение из эластомера и эластомерный плунжер клапана. В стандартной комплектации GV50A поставляется с уплотнениями из Viton, а также с вариантами из Buna, Neoprene, EPMD или Kalrez, что позволяет использовать устройство с газами, требующими одного из этих вариантов.

Встроенный пользовательский интерфейс предоставляет возможность легко изменять диапазон устройств и пользовательский газ, что снижает требования к инвентарю. Можно контролировать работу контроллеров массового расхода и собирать данные о производительности на месте.

Включенная цифровая калибровка обеспечивает точность 1% от заданного значения с помощью калибровочного газа N₂ для 20-100% от полного диапазона расхода. Точность заданного значения обеспечивает точное управление технологическим процессом по сравнению с точностью, заявленной относительно полной шкалы. Для массового расхода от 2 до 20 % полной шкалы точность составляет ±0,2 % полной шкалы.