Система влажной утилизации с дожигом Pfeiffer Vacuum CT-BW

Серия CT-BW использует свои высокоэффективные решения в полупроводниковом производстве и областях промышленности со схожими процессами. Так как в новейших технологиях побочными продуктами являются высококоррозионные газы, а новое оборудование использует повышенную газовую нагрузку, более совершенные технологии утилизации представлены компанией CT clean solutions.

Серия CT-BW отвечает этим новым требованиям. Помимо возможностей FLM серии, таких, как высокая эффективность очистки от фтороуглеродов и других газов, надежная утилизация всех побочных продуктов процессов осаждения и травления, возможность выбора различных газов в качестве топлива и соответствие международным требованиям, новая система разработана быть коррозиеустойчивой и способной переработать большое количество твердых продуктов реакции.

Прямой дизайн входной и выходной трубы в купе с возможностью управления по температуре, а также разделением функциональных блоков, таких, как камера сгорания, увлажнитель, резервуар для жидкости и охлаждающая система, минимизируют риск закупорки и позволяют увеличить межремонтный ресурс оборудования.

Преимущества:

• Модульный дизайн.
• Высокая устойчивость к коррозии, благодаря использованию специальных материалов. 
• Возможность переработки большого количества отложений.
• Расширенный межремонтный ресурс с небольшим средним временем ремонта.
• Полноразмерная секция увлажнителя с возможностью адаптации к различным газовым нагрузкам.
• Разделенная система охлаждения, выдерживающая высокие энергетические нагрузки, например большое количество водорода на входе.
• Удобство сервисного обслуживания.
• Соответствие международным требованиям.