Безмасляные многоступенчатые насосы Pfeiffer Vacuum AD 3060 H
Pfeiffer Vacuum AD 3060 H — безмасляный многоступенчатый насос серии ADH для требовательных процессов в производстве полупроводников, солнечных элементов и светодиодов. Пиковая быстрота откачки — 3 300 м³/ч по азоту и 3 200 м³/ч по водороду, предельное давление — 0,002 мбар. По производительности модель занимает среднее положение в серии: она быстрее AD 600 H и легче AD 4560 H.
Высокая быстрота откачки лёгких газов ускоряет вакуумирование камеры между этапами процесса, что важно для ALD, эпитаксии и EUV-литографии. Насос рассчитан на камеры объёмом до 45 м³, входной фланец — DN 160 ISO-K, выходной — DN 50 ISO-KF.
Насос оснащён двумя контурами водяного охлаждения с регулированием температуры и встроенной продувкой горячим азотом. Это предотвращает накопление порошка и конденсацию продуктов процесса. Подшипники смазываются маслом и не требуют обслуживания на месте эксплуатации, поэтому межсервисные интервалы длинные.
Для снижения эксплуатационных расходов предусмотрен режим ожидания: когда процесс не идёт, насос потребляет меньше электроэнергии и азота. Конструкция и материалы выдерживают большие статические и динамические нагрузки внутреннего давления, что обеспечивает безопасность при работе с водородом и силаном. Потребляемая мощность при предельно м давлении — 6,4 кВт, уровень шума — 67 дБ(А), вес — 1 190 кг.
ООО "БЛМ Синержи" осуществляет поставки оборудования по всей территории Российской Федерации, а также в страны СНГ.
Стоимость и сроки доставки рассчитываются индивидуально для каждого заказа и зависят от региона, габаритов, веса груза и выбранного способа транспортировки.
Важно: Работаем только с юридическими лицами. Все расчёты производятся по безналичному расчёту.
