Безмасляные многоступенчатые насосы Pfeiffer Vacuum AD 4560 H
Pfeiffer Vacuum AD 4560 H — самая производительная модель безмасляных многоступенчатых насосов серии ADH. Пиковая быстрота откачки достигает 4 500 м³/ч как по азоту, так и по водороду, предельное давление — 0,002 мбар. Насос создан для процессов в производстве полупроводников, солнечных элементов и светодиодов, где нужна максимальная скорость откачки.
Одинаковая производительность по азоту и водороду делает модель подходящей для водородных процессов: PECVD при выпуске солнечных элементов, MOCVD при производстве светодиодов, ALD и эпитаксии в полупроводниковой отрасли. Скорость встроенного насоса Рутса можно менять, подстраивая быстроту откачки под режим процесса. Насос рассчитан на камеры объёмом до 40 м³, входной фланец — DN 200 ISO-K, выходной — DN 50 ISO-KF.
Два контура водяного охлаждения с регулированием температуры и продувка горячим азотом защищают проточную часть от порошка и конденсата. Подшипники смазываются маслом и не требуют обслуживания на месте эксплуатации. В режиме ожидания насос снижает расход электроэнергии и азота.
Конструкция рассчитана на работу со взрывоопасными газами, такими как водород и силан. Потребляемая мощность при предельном давлении — 6,5 кВт, уровень шума — 67 дБ(А), вес — 1 360 кг.
ООО "БЛМ Синержи" осуществляет поставки оборудования по всей территории Российской Федерации, а также в страны СНГ.
Стоимость и сроки доставки рассчитываются индивидуально для каждого заказа и зависят от региона, габаритов, веса груза и выбранного способа транспортировки.
Важно: Работаем только с юридическими лицами. Все расчёты производятся по безналичному расчёту.
