Гибридные турбомолекулярные насосы Pfeiffer Vacuum ATP 2300M
Цена по запросу
Характеристики
Вес, кг
:
52
Габариты (ДxШxВ), мм
:
315 x 278
Температура охлаждающей жидкости, °C
:
15–40
Частота вращения, об/мин
:
31 000
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
Насос ATP 2300M это высокопроизводительное решение, применяемое в вакуумных приложениях, где требуется высокая скорость откачки одновременно с высокой пропускной способностью (до 3000 см3/мин по азоту). Также насос применяется, как для легких, так и для агрессивных процессов в различных областях промышленности:
- ионная имплантация
- HDPCVD процессы
- напыление
- напыление тонкоплёночных покрытий
- научные исследования и прочее
Особенности и преимущества
- высокое среднее время наработки на отказ
- низкий уровень шума и вибраций
- абсолютно безмасляный вакуум
- компактные размеры
- магнитный подвес не требующий обслуживания
- установка в любой ориентации
- регулируемая скорость вращения ротора для оптимизации параметров откачки
- модификация со встроенным контроллером
Температура охлаждающей жидкости, °C
15–40
Частота вращения, об/мин
31 000
Скорость откачки по N₂, л/с
1450–1950
Скорость откачки по H₂, л/с
1600-1700
Скорость откачки по He, л/с
1700-2050
Скорость откачки по Ar, л/с
1400-1900
Коэффициент сжатия N₂
> 1 · 10⁸
Коэффициент сжатия H₂
> 7 · 10³
Коэффициент сжатия He
> 1 · 10⁵
Коэффициент сжатия Ar
> 1 · 10⁸
Расход охлаждающей жидкости, л/ч
60
Уровень шума, дБ
< 46
Габариты (ДxШxВ), мм
315 x 278
Вес, кг
52
_________________________________________________________________________________________________________________
_________________________________________________________________________________________________________________