Турбомолекулярные насосы / Турбонасосы
Надежные и высокоэффективные турбомолекулярные насосы Pfeiffer Vacuum.
Более 50 лет назад компания Pfeiffer Vacuum изобрела первый турбомолекулярный насос. Компания БЛМ Синержи является эксклюзивным представителем продукции Pfeiffer Vacuum в России! Это позволяет нам предлагать своим клиентам купить турбомолекулярный насос по самой лучшей цене и гарантировать оригинальность поставляемой продукции с предоставлением сертификата конечного пользователя от фирмы производителя. Весь производственный цикл турбонасосов (от производства деталей до полной сборки) производится в Германии (частично во Франции), что выделяет данные агрегаты на фоне аналогов производимых и собираемых в Китае.
В нашем каталоге вы можете найти широкую гамму турбомолекулярных насосов под разные задачи со скоростью откачки от 10 до 2800 л/сек. Высокая надежность обеспечивается в том числе благодаря уникальным подшипникам, разработанным Pfeiffer Vacuum. Разработанный дизайн ротора, способствует достижению высоких значений скорости откачки, рабочего давления на выхлопе и газовой нагрузки, а также компрессии по легким газам.
• Скорость откачки 7,5 л/с
• Полностью безмасляная откачка
• Скорость ротора 27 000 об/мин.
• Самый высокий уровень сжатия, особенно для легких газов
• Идеально подходит для высокого и сверхвысокого вакуума до 10-11 мбар
• Лучшие показатели сверхвысокого вакуума даже в сочетании с мембранными насосами
• Скорость откачки 10-800 л/с
• Компактные размеры
• Высокая надежность
• Скорость откачки 270-380 л/с
• Компактные размеры
• Высокая надежность
• Скорость откачки 1000-2300 л/с
• Выдерживают высокую газовую нагрузку
• Малое время разгона
• Скорость откачки 255-800 л/с
• Магнитный подвес ротора
• Система автоматической балансировки
• Скорость откачки 500-3200 л/с
• Выдерживают высокую газовую нагрузку
• Низкий уровень вибраций
• Низкое энергопотребление
Скорость откачки:
• по водороду (H2) - 1700 л/с
• по азоту (N2) - 1750 л/с
• по гелию (Не) - 1800 л/с
Турбомолекулярный насос подходит под самые сложные задачи
Турбонасосы представляют собой насосы высокого и сверхвысокого вакуума, и главным образом состоят из ротора и статора. Вращающийся диск ротора и неподвижный диск статора формируют ступень насоса, которая обеспечивает определенную степень сжатия. При последовательном включении нескольких ступеней насосов увеличивается эффект сжатия, в результате чего можно достичь степени сжатия до 1013. В современных турбомолекулярных насосах используются ступени Хольвека на стороне подкачки, которые, например, сокращают количество турбо-ступеней без сокращения степени сжатия. В то же самое время допустимое давление в линии предварительной откачки увеличивается, как минимум, до 30 гПа. При этом размер насоса подкачки резко сокращается, поэтому в первый раз для подкачки можно использовать диафрагменные насосы.
Для технологических процессов, подверженных конденсации, испарению и формированию частиц рекомендуется использовать турбомолекулярные насосы с дополнительными ступенями сжатия, поскольку в узких пространствах могут накапливаться различные вещества, приводящие к повреждениям и закупорке.
Турбомолекулярные насосы завоевали доверие клиентов своей эффективностью и гибкостью интегрирования в производство. Одной из отличительных черт является высокая надёжность подшипниковых систем, которые доступны в двух конструкционных решениях:
Гибридный подшипник Сочетание керамического шарикоподшипника со стороны форвакуума и постоянного магнитного радиального подшипника со стороны высокого вакуума называют гибридным подшипником. Эта подшипниковая технология не требует электромагнитов и имеет длительный срок службы с интервалами техобслуживания приблизительно 4 года. Подшипник и резервуар с маслом могут быть заменены на месте установки агрегата менее чем за 30 минут. |
|
Магнитный подвес Электромагнитные подшипники называют также „активным магнитным подвесом“, поскольку позиция ротора постоянно отслеживается и соответственно регулируется. Это обеспечивает не изнашиваемость, низкий уровень вибраций с автоматической компенсацией дисбаланса. Обеспечивается постоянная стабильность ротора. Эти подшипники не требуют ухода и смазывания. |
Pfeiffer Vacuum - стандарт безопасности
В современных центробежных насосах конечные точки на роторе достигают скорости свыше 400 метров в секунду. Соответственно, это приводит к высокой кинетической энергии самого ротора, которая передаётся за доли секунды от вращательной системы на корпус насоса в момент контакта ротора и статора. Таким образом, устойчивость корпуса имеет огромное значение для определения стабильности работы агрегата и устанавливается теоретическим и практическим путём. У нас вы можете купить турбомолекулярные насосы, соответствующие сертификатам UL 61010 и Semi S2. Кроме того, разработанная Pfeiffer Vacuum совместно с TÜV Rheinland, механическая безопасность отвечает сертификатам противопожарной защиты и обеспечивает двукратную перегрузку по скорости вращения.
Распространенные ошибки при использовании турбомолекулярных насосов и способы их избежать
Зачастую основным критерием выбора турбомолекулярного насоса является его оптимальность при наилучшей цене. Однако стремление сэкономить может привести к выбору менее оптимального насоса с меньшим сроком службы и повышенными затратами на техническое обслуживание. Приобретение надежного насоса и подходящих принадлежностей с высокой чувствительностью мониторинга и различными режимами работы окупится в долгосрочной перспективе.
При выборе и эксплуатации турбомолекулярных насосов зачастую совершаются серьезные ошибки. Их можно с легкостью избежать, если надлежащим образом учесть все требования к использованию конкретного типа насоса.
Правильная установка турбомолекулярного насоса обеспечивает его безопасную работу.
Продувка насоса
Без продувки произойдет загрязнение турбонасоса углеводородами после завершения его работы и выравнивания давления между стороной предварительного вакуума и стороной высокого вакуума, а также в случае использования пластинчато-роторных насосов в качестве насосов подкачки. Если на стороне высокого вакуума не установлен клапан, загрязнение распространится до принимающего оборудования.
Продувка насоса сухим газом, азотом или обезмасленным воздухом позволяет предотвратить загрязнение и выполнить надлежащее вентилирование насоса подкачки. Продувку насоса можно безопасно выполнить с помощью продувочного клапана на определенной скорости, если используется электроника привода турбонасоса.
Учитывая, что степень сжатия турбонасоса также зависит от скорости, оптимальную начальную продувку необходимо выполнять примерно на 50% скорости, при этом начинать ее следует не позднее, чем на 20% скорости. Помимо заводских настроек, современная электроника обеспечивает гибкость в контроле скорости продувки. Правильная продувка также помогает защитить принимающее оборудование от загрязнения.
В некоторых процессах требуется выполнять продувку системы управления отдельно от насоса, что приводит к утрате важного звена в цепи обеспечения скорости откачки. Дополнительный мониторинг скорости откачки не обязателен, если процесс продувки выполняется через электронику привода насоса. Во время продувки внутренняя поверхность насоса покрывается азотом. Он значительно сокращает время создания вакуума, поскольку на поверхности не накапливаются трудные для удаления газы или вода. Газ для продувки не должен поступать со стороны подкачки, поскольку в сторону вакуума могут попасть конденсаты, частицы и даже масло.
В нестабильных сетях с частыми перебоями питания, особенно в случае перегрузок от использования кондиционеров воздуха в летнее время, рекомендуется использовать продувочный клапан, устойчивый к перебоям питания, способный автоматически выполнить продувку насоса и закрыть его в случае перебоя питания. Частая продувка, особенно на стороне высокого вакуума, приводит к перегреву насоса, механическому напряжению и сокращению срока службы подшипников ввиду большого трения газа.
Соответствие технологическим требованиям
Крайне важно обеспечить соответствие насоса требованиям конкретного технологического процесса. Советы наших специалистов и достоверная информация о технологическом процессе и его характеристиках помогут создать оптимальное решение. Для агрессивных процессов, особенно в полупроводниковой промышленности, необходимо использовать насосы с уплотняющим газом, синтетическое масло PFPE для насосов с шариковыми подшипниками и устойчивые к коррозии материалы роторов, такие как никель или материалы с керамическим покрытием.
Уплотняющий газ, такой как осушенный азот, обеспечивает превосходную защиту шариковых подшипников от коррозии и пыли в сочетании с лабиринтовым уплотнением. При определении необходимого размера насоса следует принять данную дополнительную газовую нагрузку во внимание. Предлагаемые клапаны для уплотняющего газа регулируют оптимальный расход газа. Необходимо соблюдать давление уплотняющего газа, указанное в инструкциях.
При откачке кислорода в концентрации, превышающей атмосферные уровни содержания кислорода, важно обеспечить защиту от окисления минерального масла и утраты им своих смазывающих способностей. Для этого можно использовать азот в качестве уплотняющего газа и/или масло PFPE.
Если в ходе технологического процесса формируются отложения (например, процесс химического осаждения из паровой фазы), процесс покрытия продолжится на роторе и частях корпуса, направленным в сторону технологической камеры. Это приведет к дисбалансу и вибрациям, которые могут стать причиной поломки ротора. В таких процессах важно принимать меры предосторожности и дополнительные меры контроля уже на стадии проектирования технологической камеры. По возможности турбонасос необходимо установить вверх дном, чтобы пыль осаждалась под воздействием силы гравитации и не накапливалась в насосе. Также можно установить отражающий козырек для защиты от попадания пыли непосредственно на работающий насос. Если установка вверх дном невозможна, насос можно установить на боку на Т-образной раме под углом 90 градусов. Отверстие подкачки всегда должно быть направлено вниз.
Преимущества для клиентов
Часто вакуумная технология является ключевым элементом успешного запуска и правильного прохождения многих производственных процессов. В зависимости от ситуации, расходы от бракованного товара могут достигать миллионов евро. Это обстоятельство делает вакуумную технологию ещё более важным компонентом, который обеспечивает максимальное качество продукции. Для современных турбомолекулярных насосов время эксплуатации до 100 000 часов - известный факт. Продолжительность работы может составлять порядка 11 лет непрерывной работы. В течение такого периода агрегат должен пройти несколько плановых остановок и технических осмотров. Компания Pfeiffer Vacuum расширила возможности диагностики для обеспечения этих требований. С помощью собранных данных, осуществляется обслуживание установки. Любой вид необходимого обслуживания легко прогнозируется и предварительно назначается пользователем. Учитывая то, что замена масла и подшипников может быть произведена на месте, вакуумные системы Pfeiffer Vacuum отличаются максимальной продолжительностью работы. Электронный блок управления насосом значительно уменьшает затраты на дополнительные и вспомогательные провода. Ультрасовременная технология привода минимизирует потребление электроэнергии и предоставляет универсальные возможности управления установкой. IP54-класс защиты корпуса позволяет применять эти установки в различных промышленных сферах. Компактная конструкция турбомолекулярного насоса гарантирует лёгкость установки в ограниченном пространстве. Для каждой серии агрегатов существуют различные варианты электрических приводов, которые сводят к минимуму затраты на потребление электроэнергии. Даже сам вес насосной станции был подвергнут тщательному исследованию, что позволило разработать насос весом в 6 кг, который может откачивать 250 л в секунду. Широкий спектр применения турбонасосов Pfeiffer Vacuum включает в себя не только решение аналитических и исследовательских задач, обеспечение вакуумных процессов для полупроводниковой промышленности, но также и промышленные варианты использования.
Компания "БЛМ Синержи" предлагает купить турбомолекулярный насос с доставкой и установкой на вашем предприятии. Также у нашей компании есть собственный сервисный отдел, готовый обнаружить и устранить неполадки оборудования в случае их появления.
Мегагрупп.ру