Квадрупольный масс-спектрометр

Компактные датчики с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.

• Оптимальная адаптируемость благодаря модульной конструкции
• Лёгкая и гибкая система интеграции с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов, работа в сети - Ethernet
• Низкий уровень обнаружения парциального давления - 1*10^-15
• Экономия времени благодаря интуитивному управлению программным обеспечением PV MassSpec

Компактные квадрупольные масс-спектрометры с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.

• Анализ остаточных газов и общий газовый анализ
• Лёгкая и гибкая система интеграции с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов, работа в сети - Ethernet
• Высокая производительность и скорость измерения, стабильность, простота использования
• Максимальная чувствительность и широкий динамический диапазон
• Взаимозаменяемость анализаторов и электроники, модульное исполнение
• Версии с C-SEM детектором (для сверх высокого вакуума) и с детектором Фарадея (для высокого вакуума)
• Низкий уровень обнаружения парциального давления - 1*10^-4

Являются компактными настольными приборами для систем анализа газов при атмосферном давлении. Идеально подходят для исследований газа в химических процессах, производстве полупроводников, металлургии, процессах ферментации и катализа, лазерных технологиях и анализе газов для экологических стандартов. Спектрометры ThermoStar разработаны специально для соединения с термобаллансировочной системой.

Компактные квадрупольные масс-спектрометры с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.

• Анализ остаточных газов и общий газовый анализ
• Лёгкая и гибкая система интеграции с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов, работа в сети - Ethernet
• Высокая производительность и скорость измерения, стабильность, простота использования
• Максимальная чувствительность и широкий динамический диапазон
• Взаимозаменяемость анализаторов и электроники, модульное исполнение
• Версии с C-SEM детектором (для сверх высокого вакуума) и с детектором Фарадея (для высокого вакуума)
• Низкий уровень обнаружения парциального давления - 1*10^-4

Благодаря сочетанию высокой чувствительности, максимальной устойчивости и интеллектуального функционирования, PrismaPlus является идеальным решением для масс-спектрометрии. Его модульное исполнение создает широкие возможности для применения в производственной и аналитической областях, в сфере НИОКР, при контроле герметичности и в производстве полупроводников, а также в технологиях нанесения покрытий.

• Работа в диапазоне давлений до < 10-4 мбар;
• Максимальная чувствительность и широкий динамический диапазон;
• Очень высокая скорость измерения и стабильность;
• Комплектуются блоком управления, ВЧ генератором и анализатором.

Максимальная производительность при любом количестве задач

HiQuad сочетает в себе высокую производительность, универсальность и простоту использования. Как независимый модуль, HiQuad может быть легко внедрен в Вашу систему в зависимости от решаемой задачи. Высокая скорость измерений – до 125 µс/а.е.м. позволяет проводить очень быстрые измерения.

SPM - Анализ газов в диапазоне давлений до 10 мбар в режиме реального времени с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м.

• Высокий уровень обнаружения Н₂, О₂, Н₂О, СО₂
• SPM источник ионов - мгновенный анализ газовой среды
• Дифференциальный клапан
• Версии с предохранительным/без предохранительного клапана

HPA - Анализ газов в диапазоне давлений до 50 мбар.

• Гибкая система - варианты с пятью ручными или электропневматическими программами напуска газа
• Диапазон давлений 1*10^-7 до 50 мбар
• Поставляется с дополнительным отверстием 0,1 мм для диапазона давления 0,1 - 1 мбар (N2)
• Диапазоны работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.
• Двойной запорный клапан

5 вариантов ручных или электропневматических программ управления напуском газа делают модель этой серии достаточно гибкой в использовании при давлении до 50 мбар. Лёгкая и гибкая интеграция в систему анализа с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов.

• Диапазон измеряемых масс: 1-100 или 1-200 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 1*10^-4 Торр (1,3*10^-4 мбар)
• Чувствительность ионного источника: 2*10^-4 А/мбар

Серия отличается низкой стоимостью, минимальной рабочей конфигурацией и простотой подключения благодаря наличию встроенного web-сервера, что позволяет подключать прибор к локальной сети с помощью загрузки IE или, используя ASCII протокол или с помощью программного обеспечения EasyView, проводить экспресс-диагностику остаточной атмосферы.

• Диапазон измеряемых масс: 100, 200, 300 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 7,6*10^-5 Торр (1*10^-4 мбар)
• Чувствительность ионного источника: 2*10^-4 А/мбар
• Чаша Фарадея: 1,5*10^-11 Торр (2*10^-11 мбар)

Прибор серии MicroVision 2, высокостабильный к ВЧ воздействиям, обладает минимальным температурным дрейфом и быстрым выходом на режим, обеспечивает высокоскоростное сканирование в широком диапазоне а.е.м. и мгновенным определением отклонения парциального давления газа.

• Диапазон измеряемых масс: 100, 200, 300 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 1*10^-3 Торр на входе источника ионов (стандартно), более высокое давление опционально
• Мин. обнаруживаемое парциальное давление: <2*10^-11 Торр (для общего давления <1*10^-4 Торр на базовом входе)

Устройства серии Vision, это инновационные приборы для контроля обработки технологических процессов на месте, которые полностью интегрированы в пакеты для конкретных приложений, включая анализаторы остаточных газов компонентов (RGAs), аналитическое оборудование и управляющее программное обеспечение. Технологические масс-спектрометры используются в различных приложениях, в том числе: Полупроводники, тонкие пленки (CVD, травление, PVD и дегазация), фармацевтическая лиофилизация и мониторинг чистоты газа.

• Диапазон измеряемых масс: 1-100 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 0,001 Торр (0,0013 мбар)
• Мин. определяемое парциальное давление: 8*10^-11 торр (1*10^-11 мбар)
• Мин. определяемая концентрация: 5ppm при 0,001 торр (0,0013 мбар)

HPQ3 позволяет работать далеко за пределом общего давления 1*10^-4 мбар других RGА, без необходимости дифференциальной откачки. Испытанная на практике технология в сочетании с новейшей инновационной платформой электроники семейства Microvision 2 обеспечивают качество данных, ранее не наблюдавшееся в этом классе приборов. HPQ3 имеет множество вариантов управления программным обеспечением, чтобы соответствовать требованиям любого приложения.

• Диапазон измеряемых масс: 1-100 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 0,008 Торр (0,0013 мбар)
• Мин. определяемое парциальное давление: 8*10^-11 торр (1*10^-11 мбар)
• Мин. определяемая концентрация: 5ppm при 0,001 торр (0,0013 мбар)

Для специфических применений, связанных с давлениями, превышающими HPQ3S 1*10^-2 мбар производит коррекцию в реальном времени, используя манометрическое давление от инструмента или используя различные дополнительные независимые манометры, установленные на специальной F-камере, разработанной для оптимальной производительности.

• Диапазон измеряемых масс:
   - Стандарто: 1-100 а.е.м.
   - Опционально: 100HP, 1-200 а.е.м., 1-300 а.е.м.
• Мин. определяемая концентрация: Независимая от газа и массы минимальная обнаруживаемая концентрация 3 сигма, базовый шум <15 ppb
• Расход газа: 20 мл/мин