Квадрупольные масс-спектрометры

Квадрупольный масс-спектрометр Pfeiffer Vacuum - PrismaPlus

• Газовый анализ выбросов и общий газовый анализ;
• Высокая скорость измерения;
• Стабильность;
• Взаимозаменяемость анализаторов и электроники;
• Версии с C-SEM детектором (для сверх высокого вакуума) и с детектором Фарадея (для высокого вакуума).

Благодаря сочетанию высокой чувствительности, максимальной устойчивости и интеллектуального функционирования, PrismaPlus является идеальным решением для масс-спектрометрии. Его модульное исполнение создает широкие возможности для применения в производственной и аналитической областях, в сфере НИОКР, при контроле герметичности и в производстве полупроводников, а также в технологиях нанесения покрытий.

Ионизационная камера с поляризованным напряжением
При поляризации ионизационной камеры образуется сигнал с очень низким фоновым уровнем. Катод, выпускающий электроны, имеет положительную поляризацию относительно заземляющей пластины. Конструкция PrismaPlus препятствует десорбции частиц газа от стенок камеры и, таким образом, образованию нежелательного фонового сигнала под воздействием электронно-стимулированной десорбции.

Квадрупольный масс-спектрометр Pfeiffer Vacuum - HiQuad

• Работа в диапазоне давлений до < 10-4 мбар;
• Максимальная чувствительность и широкий динамический диапазон;
• Очень высокая скорость измерения и стабильность;
• Комплектуются блоком управления, ВЧ генератором и анализатором.

Максимальная производительность при любом количестве задач

HiQuad сочетает в себе высокую производительность, универсальность и простоту использования. Как независимый модуль, HiQuad может быть легко внедрен в Вашу систему в зависимости от решаемой задачи. Высокая скорость измерений – до 125 µс/а.е.м. позволяет проводить очень быстрые измерения.

Газоаналитические масс-спектрометрические системы Pfeiffer Vacuum - OmniStar / ThermoStar

Являются компактными настольными приборами для систем анализа газов при атмосферном давлении. Идеально подходят для исследований газа в химических процессах, производстве полупроводников, металлургии, процессах ферментации и катализа, лазерных технологиях и анализе газов для экологических стандартов. Спектрометры ThermoStar разработаны специально для соединения с термобаллансировочной системой.

Система газового анализа Pfeiffer Vacuum серии SPM

Обеспечивает анализ газов в диапазоне давлений до 10 мбар в режиме реального времени с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м.

Квадрупольный масс-спектрометр Pfeiffer Vacuum серии HPA

• Компактные размеры для удобной интеграции в систему анализа.
• Гибкая система - варианты с пятью ручными или электропневматическими программами напуска газа;
• Диапазон давлений 1*10^-7 до 50 мбар;
• Поставляется с дополнительным отверстием 0,1 мм для диапазона давления 0,1 - 1 мбар (N₂);
• Возможность получения данных с нескольких масс-спектрометров на одном ПК;
• Минимальное фоновое влияние на результат измерения;
• Диапазоны работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.;
• Лёгкая и гибкая система интеграции с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов, компактные размеры;
• Двойной запорный клапан.

5 вариантов ручных или электропневматических программ управления напуском газа делают модель этой серии достаточно гибкой в использовании при давлении до 50 мбар. Лёгкая и гибкая интеграция в систему анализа с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов.

Квадрупольный масс-спектрометр MKS - e-Vision 2

• Диапазон измеряемых масс: 100 или 200 а.е.м.;
• Максимальное рабочее давление: 1*10-4 торр (1,3*10-4 мбар);
• Чувствительность ионного источника: 2*10-4 А/мбар;
• Температура отжига: 250 оС (без электронной части).

Серия отличается низкой стоимостью, минимальной рабочей конфигурацией и простотой подключения благодаря наличию встроенного web-сервера, что позволяет подключать прибор к локальной сети с помощью загрузки IE или, используя ASCII протокол или с помощью программного обеспечения EasyView, проводить экспресс-диагностику остаточной атмосферы.

Квадрупольный масс-спектрометр MKS - MicroVision 2

• Диапазон измеряемых масс: 100, 200, 300 а.е.м.;
• Максимальное рабочее давление: 7,6*10-5 Торр (1*10-4 мбар);
• Чувствительность ионного источника: 2*10-4 А/мбар;
• Температура отжига: 250 оС (без электронной части);
• Чаша Фарадея: 1,5*10-11 Торр (2*10-11 мбар);
• Скорость дегазации: менее чем 1*10-9 мбар литр/сек.

Прибор серии MicroVision 2, высокостабильный к ВЧ воздействиям, обладает минимальным температурным дрейфом и быстрым выходом на режим, обеспечивает высокоскоростное сканирование в широком диапазоне а.е.м. и мгновенным определением отклонения парциального давления газа.

Масс-спектрометрическая установка MKS - Vision 2000

Vision 2000 поможет провести газовый анализ и мониторинг вакуума, представляют собой полностью интегрируемые специальные установки для применения в различных процессах на основе серии MicroVision Plus с программным обеспечением Process Eye 2000.

Масс-спектрометры MKS - HPQ3/HPQ3S

• Диапазон измеряемых масс: 1-100 а.е.м.;
• Максимальное рабочее давление:
     HPQ3 - 1х10-3 Торр (1х10-4 мбар);
     HPQ3S - 8х10-3 Торр (1х10-2 мбар);

• Чувствительность: 5*10-5 А/мбар;
• Температура отжига: 250 0С (без электронной части);
• Анализ состава газов.

Установка для газового анализа MKS - Cirrus 2

• Диапазон измеряемых масс: 100, 200, 300 а.е.м.;
• Максимальная рабочая температура: 180 0С (отжиг камеры), 80 0С (рабочая температура камеры);
• Рабочее давление: 1 бар (750 Торр).
• Анализ состава газов.

Установка Cirrus 2 позволяет проводить непрерывный газовый анализ при атмосферном давлении. Cirrus 2 представляет собой интеграцию в единый настольный комплекс Microvision 2 и средств создания вакуума (высоковакуумный и форвакуумный насосы).