Вакуумметры

Широкодиапазонные вакуумметры с аналоговыми и цифровыми выходами для измерения вакуума в полном диапазоне давлений исследуемого объема от компаний Pfeiffer Vacuum и MKS Instruments.

При выборе необходимого датчика следует принимать во внимание:
- диапазон измеряемых значений;
- газовый состав (инертный или коррозионный);
- требуемую точность и воспроизводимость результатов измерений;
- окружающие условия, в частности, ионизирующее излучение.

Вакуумметры Pfeiffer Vacuum

• Цифровые
• Аналоговые
• Ручные
• Для работы в радиоактивных средах
• Для работы при повышенных температурах

Цена

По запросу

Вакуумметры MKS Instruments

• Теплоэлектрические
• С холодным катодом модульного типа
• Датчики блочно-модульного исполнения
• Для работы в широком диапазоне
• Для применения в шлюзовых и загрузочных камерах
• MicroPirani
• Piezo

Цена

По запросу

Цифровые вакуумметры

Цифровые вакуумметры от Pfeiffer Vacuum промышленного и исследовательского назначения могут применяться в случаях, когда требуется надежность, простота установки и работа во всех диапазонах. Серия DigiLine охватывает весь технически востребованный диапазон и представлена датчиками Пирани, пьезоэлектрическими, с горячим и холодным катодом. В каждом датчике имеется цифровой порт RS-485, позволяющий подключать к контроллеру до 16 датчиков. Класс защиты IP54, цифровые разъемы М12 допускают эксплуатацию в тяжелых условиях.

В качестве опции предлагаются дополнительный аналоговый выход с двумя точками коммутации и интерфейсом Profibus.

Аналоговые вакуумметры

Pfeiffer Vacuum ActiveLine - включает вакуумметры с различным принципом действия, имеющие аналоговый выход. Вся серия в целом покрывает полный диапазон технически востребованных значений — от сверхвысокого вакуума до избыточного давления. Выходной сигнал пропорционален давлению в вакуумной системе. Он может отображаться (в единицах давления) на трех цифровых контроллерах серии TPG или передаваться на вход внешнего контроллера для последующей обработки.

Серия включает в себя прецизионные (высокоточные) мембранно-емкостные датчики давления, калиброванные в мбар и предназначенные для управления сложными технологическими процессами (серия CMR), а также датчики, калиброванные в мм.рт.ст. (Торр), которые могут быть непосредственно использованы в полупроводниковых процессах без применения контроллеров (серия CCR).

Pfeiffer Vacuum CenterLine - 100% совместимость по габаритам, типам подключения и выходным сигналам. Датчики серии CenterLine способны работать совместно с датчиками Oerlikon Leybold или заменить их.

В вакуумметрах серии CenterLine используются новейшие контроллеры которые обеспечивают подключение через интерфейсы USB и Ethernet, а полученные значения отображаются на ярком LCD-экране. Автоматическое распознавание контроллером упрощает монтаж и повышает надежность системы. Отдельные датчики, помимо аналогового выхода, предусматривают установку заданных значений, что облегчает управление процессами.

Особого упоминания заслуживает датчик FullRange PTR 91. Он обеспечивает минимизацию магнитного поля, характерного для устройств с холодным катодом. Измерительная камера новой конструкции позволяет существенно увеличить срок службы прибора. Съемная сдвоенная камера обеспечивает снижение расходов, позволяя пользователю производить ремонт самостоятельно.

Вакуумметр для работы в радиоактивных средах и при повышенных температурах

Pfeiffer Vacuum ModulLine - включают в себя три измерительных сенсора TPR (Пирани) с диапазоном от 1000 до 8·10-4 мбар и три измерительных сенсора IKR (с холодным катодом) с диапазоном определения от 5·10-3 до 10-11 мбар. Поскольку эти измерительные сенсоры не содержат электронику и применяются соединительные кабели с двойным экранированием, они подходят для применения в зонах интенсивного радиоактивного излучения.

Контроллер обеспечивает индивидуальную настройку конфигурации и может включать две измерительные платы, позволяющие подключать до четырех сенсоров. Имеется разъем для подключения последовательных портов RS-232/RS-485 и релейных контактов.

Ручные вакуумметры и манометры

Ручные измерительные приборы с питанием от батарейки серий Pfeiffer Vacuum TPG 201 и TPG 202 отображают и запоминают давление. В модели TPG 201 применяется сенсор Пирани, а в модели TPG 202 комбинированный сенсор пьезо с Пирани, предназначенный для регистрации более высоких давлений и работающий с любыми типами газов. Ручные вакуумметры регистрируют давления в диапазоне от 1200 до 5·10-4 мбар. На корпусе имеется цифровой дисплей, позволяющий считывать измеренное значение. Имеется возможность передачи данных по интерфейсу USB с использованием программного обеспечения DokuStar.

Вакуумметр с холодным катодом модульного типа

Предназначены для сверхточного измерения вакуума в широком диапазоне давления и имеют длительный срок эксплуатации. Модуль с размещенными внутри датчиком и электроникой, характеризуется компактным размером, а также существенно низкой стоимостью монтажа.

Технология использования холодного катода в вакуумметрах MKS Instrument с холодным катодом серии 500, как правило, обеспечивает более длительный срок эксплуатации по сравнению с вакуумметрами с горячим катодом, поскольку в конструкции не предусмотрена прогорающая со временем нить накала, но минусом является более низкая точность измерения. В разработке датчиков с холодным катодом применяется новый стандарт точности, основанный на передовой технологии и методах калибровки, испытанных в процессе длительной эксплуатации. Кроме того, предусмотрен хороший способ определения момента, когда датчик с холодным катодом изношен и точность его измерений существенно ухудшилась. Благодаря новому методу с заявленным патентом определения дозы давления в динамике по времени и возможности задачи пользователем фактора окружающей среды, в конструкции вакуумметра с холодным катодом серии 500 предусмотрена индикация при необходимости проведения сервисного обслуживания или замены.

Вакуумметр MicroPirani/Piezo

Конструкция разработана специально для применения в шлюзовых и загрузочных камерах и сочетает технологии измерения вакуума посредством комбинации датчиков вакуума Piezo и Micro Pirani. Совмещенный выход обеспечивает более высокую точность, стабильность в работе, повторяемость измерений и короткое время отклика по сравнению с обычно применяемыми приборами для измерения теплопроводности.

Вакуумметр MicroPirani

Является теплоэлектрическим вакуумметром, основанным на уникальной МЭМС-технологии (микроэлектромеханические системы) производства датчика вакуума. Конструкция Micro Pirani серии 925 предусматривает аналоговый выход по напряжению, цифровой интерфейс и реле уставок для управления технологическим процессом.

Вакуумметр DualTrans MicroPirani/Absolute Piezo

Конструкция разработана специально для работы в широком диапазоне и сочетает технологии измерения вакуума посредством комбинации датчиков вакуума Piezo и Micro Pirani. Совмещенный выход обеспечивает более высокую точность, стабильность в работе, повторяемость измерений и короткое время отклика по сравнению с обычно применяемыми приборами для измерения теплопроводности.