Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Вакуумметры, приборы для измерения вакуума

Широкодиапазонные вакуумметры с аналоговыми и цифровыми выходами для измерения вакуума в полном диапазоне давлений исследуемого объема от компаний Pfeiffer Vacuum и MKS Instruments.

При выборе необходимого датчика следует принимать во внимание:
- диапазон измеряемых значений;
- газовый состав (инертный или коррозионный);
- требуемую точность и воспроизводимость результатов измерений;
- окружающие условия, в частности, ионизирующее излучение.

Вакуумметры Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum DigiLine

Цифровой вакуумметр - DigiLine

• Измерение в пределах от 5*10-10 до 2000 гПа - полный диапазон давлений;
• Цифровая передача сигнала по RS-485;
• Простота подключения и калибровки;
• Возможность использования совместно с турбомолекулярными насосами HiPace;
• Класс защиты IP54, разъемы М12 допускают эксплуатацию в тяжелых условиях.

Датчики DigiLine промышленного и исследовательского назначения могут применяться в тех случаях, когда требуется надежность, простота установки и работа во всех диапазонах. Серия охватывает весь технически востребованный диапазон и представлена датчиками Пирани, пьезоэлектрическими, с горячим и холодным катодом. В каждом датчике имеется цифровой порт RS-485, позволяющий подключать к контроллеру до 16 датчиков. Класс защиты IP54, цифровые разъемы М12 допускают эксплуатацию в тяжелых условиях.

В качестве опции предлагаются дополнительный аналоговый выход с двумя точками коммутации и интерфейсом Profibus.


Pfeiffer Vacuum - ActiveLine

Аналоговый вакуумметр - ActiveLine

• Диапазон измерения давлений от 10-11 до 55 000 мбар;
• Компактная конструкция;
• Аналоговый выходной сигнал с сигналом об ошибке;
• Система самодиагностики, облегчающая эксплуатацию;
• Исключение монтажных ошибок благодаря автоматическому распознаванию датчика;
• Подключение с помощью универсальных кабелей.

ActiveLine включает вакуумметры с различным принципом действия, имеющие аналоговый выход. Вся серия в целом покрывает полный диапазон технически востребованных значений — от сверхвысокого вакуума до избыточного давления. Выходной сигнал пропорционален давлению в вакуумной системе. Он может отображаться (в единицах давления) на трех цифровых контроллерах серии TPG или передаваться на вход внешнего контроллера для последующей обработки.

Серия включает в себя прецизионные (высокоточные) мембранно-емкостные датчики давления, калиброванные в мбар и предназначенные для управления сложными технологическими процессами (серия CMR), а также датчики, калиброванные в мм.рт.ст. (Торр), которые могут быть непосредственно использованы в полупроводниковых процессах без применения контроллеров (серия CCR).


Pfeiffer Vacuum CenterLine

Аналоговый вакуумметр - CenterLine (полный аналог Oerlikon Leybold)

• Диапазон измерения давлений от 10-10 до 1 500 мбар;
• Интеграция в существующее оборудование, использующее измерительные технологии других поставщиков;
• Полная серия, предназначенная для работы во всем диапазоне глубины вакуума;
• Оптимальное соотношение цены к объему пользовательских преимуществ;
• Дополнительная функция: установка заданных значений непосредственно на приборе;
• Исключение ошибок при монтаже благодаря автоматическому распознаванию датчика.

Преимущество для пользователя: 100%-ная совместимость по габаритам, типам подключения и выходным сигналам. Измерительные приборы серии CenterLine от Pfeiffer Vacuum могут работать совместно с датчиками Oerlikon Leybold или заменить их.

В серии CenterLine используются новейшие контроллеры.
Они обеспечивают подключение через интерфейсы USB и Ethernet, а полученные значения отображаются на ярком LCD-экране. Автоматическое распознавание контроллером упрощает монтаж и повышает надежность системы. Отдельные датчики, помимо аналогового выхода, предусматривают установку заданных значений, что облегчает управление процессами.

Особого упоминания заслуживает датчик FullRange PTR 91. Он обеспечивает минимизацию магнитного поля, характерного для устройств с холодным катодом. Измерительная камера новой конструкции позволяет существенно увеличить срок службы прибора. Съемная сдвоенная камера обеспечивает снижение расходов, позволяя пользователю производить ремонт самостоятельно.


Pfeiffer Vacuum - ModulLine

Вакуумметр для работы в радиоактивных средах и при повышенных температурах - ModulLine

• Доказанный длительный срок службы;
• Прочная, принципиально не поддающаяся воздействию радиоактивности и электромагнитных полей конструкция;
• Используется на всех крупных ускорителях мира;
• Четыре различные опции интерфейса (в том числе и Profibus);
• Датчики с металлическим уплотнением.

Серия включает в себя три измерительных сенсора TPR (Пирани) с диапазоном от 1000 до 8·10-4 мбар и три измерительных сенсора IKR (с холодным катодом) с диапазоном определения от 5·10-3 до 10-11 мбар. Поскольку эти измерительные сенсоры не содержат электронику и применяются соединительные кабели с двойным экранированием, они подходят для применения в зонах интенсивного радиоактивного излучения.

Контроллер обеспечивает индивидуальную настройку конфигурации и может включать две измерительные платы, позволяющие подключать до четырех сенсоров. Имеется разъем для подключения последовательных портов RS-232/RS-485 и релейных контактов.


Pfeiffer Vacuum TPG201 / TPG202

Ручные вакуумметры и манометры (TPG201 и TPG202)

• Компактные ручные приборы для измерения низкого и среднего вакуума;
• Функция хранения данных;
• Передача данных на компьютер по интерфейсу USB;
• Питание от батареи или от сети;
• Измерение давления до 10 мбар независимо от типа газа (только TPG 202);
• Высокоточное измерение атмосферного давления (только TPG 202).

Ручные измерительные приборы с питанием от батарейки серий TPG 201 и TPG 202 отображают и запоминают давление. В модели TPG 201 применяется сенсор Пирани, а в модели TPG 202 комбинированный сенсор пьезо с Пирани, предназначенный для регистрации более высоких давлений и работающий с любыми типами газов. Ручные вакуумметры регистрируют давления в диапазоне от 1200 до 5·10-4 мбар. На корпусе имеется цифровой дисплей, позволяющий считывать измеренное значение. Имеется возможность передачи данных по интерфейсу USB с использованием программного обеспечения DokuStar.


Вакуумметры MKS Instrument

000pdf Скачать брошюру "Advanced Vacuum Measurement Solutions" (eng. - .pdf)

MKS Instrument 500 series

Вакуумметр с холодным катодом модульного типа, Серия 500

• Широкий диапазон регистрации давления от 10-10 до 10-2 Торр;
• Опциональная калибровка с установлением 10% точности;
• Индикатор с продолжительным сроком эксплуатации для диагностирования необходимости технического обслуживания;
• 2 реле уставок для контроля технологического процесса;
• Аналоговый выход и интерфейс RS-485;
• USB интерфейс для установки и диагностики устройства;

Предназначены для сверхточного измерения вакуума в широком диапазоне давления и имеют длительный срок эксплуатации. Модуль с размещенными внутри датчиком и электроникой, характеризуется компактным размером, а также существенно низкой стоимостью монтажа.

Технология использования холодного катода в датчиках с холодным катодом серии 500, как правило, обеспечивает более длительный срок эксплуатации по сравнению с вакуумметрами с горячим катодом, поскольку в конструкции не предусмотрена прогорающая со временем нить накала, но минусом является более низкая точность измерения. В разработке датчиков с холодным катодом применяется новый стандарт точности, основанный на передовой технологии и методах калибровки, испытанных в процессе длительной эксплуатации. Кроме того, предусмотрен хороший способ определения момента, когда датчик с холодным катодом изношен и точность его измерений существенно ухудшилась. Благодаря новому методу с заявленным патентом определения дозы давления в динамике по времени и возможности задачи пользователем фактора окружающей среды, в конструкции вакуумметра с холодным катодом серии 500 предусмотрена индикация при необходимости проведения сервисного обслуживания или замены.


MKS Instrument MicroPirani Piezo 901 Plus

Вакуумметр MicroPirani/Piezo 901 Plus

• Функциональные возможности 3-х датчиков в одном устройстве для широкого диапазона измерения;
• Ультра-компактный дизайн позволяет экономить место;
• Доступны программные средства начальной установки, диагностическое и операционное программное обеспечение;
• 3 опциональные установки;
• Опциональный локальный дисплей;
• Диапазон измерения от 1·10-5 до 1000 торр с переключением на атмосферу.

Конструкция вакуумметра специально разработана для применения в шлюзовых и загрузочных камерах и сочетает технологии измерения вакуума посредством комбинации датчиков вакуума Piezo и Micro Pirani. Совмещенный выход обеспечивает более высокую точность, стабильность в работе, повторяемость измерений и короткое время отклика по сравнению с обычно применяемыми приборами для измерения теплопроводности.


MKS Instrument MicroPirani 925

Вакуумметр MicroPirani 925

• Расширенный на 2 декады диапазон измерения от 10-5 Торр до атмосферы по сравнению со стандартным датчиком Pirani;
• Аналоговый выход и цифровая связь;
• Монтаж в любом положении;
• 3 опциональных реле уставок для управления технологическим процессом;
• Опциональный локальный дисплей.

Является теплоэлектрическим вакуумметром, основанным на уникальной МЭМС-технологии (микроэлектромеханические системы) производства датчика вакуума. Конструкция Micro Pirani серии 925 предусматривает аналоговый выход по напряжению, цифровой интерфейс и реле уставок для управления технологическим процессом.


MKS Instrument DualTrans 910

Вакуумметр DualTrans MicroPirani/Absolute Piezo 910

• Два датчика в одном ультракомпактном устройстве, что позволяет экономить место;
• Широкий диапазон измерения;
• Независимо от состава газа позволяет измерять давление в среде от 10 Торр;
• Монтаж в любом положении;
• Опциональные 3 уставки с коротким временем отклика для надежного управления технологическим процессом.

Конструкция специально разработана для работы в широком диапазоне и сочетает технологии измерения вакуума посредством комбинации датчиков вакуума Piezo и Micro Pirani. Совмещенный выход обеспечивает более высокую точность, стабильность в работе, повторяемость измерений и короткое время отклика по сравнению с обычно применяемыми приборами для измерения теплопроводности.


MKS Instrument Mini-Convectron 275

Модуль MINI-CONVECTRON, Серия 275

• Базовые модели выпускаются с 1 или 2 реле уставок, позволяющие использовать реле уставок в качестве реле давления;
• Легко считываемый цифровой 3-х разрядный дисплей предоставляет возможность снимать показания давления на месте;
• Выполнен в цельнометаллическом корпусе и нечувствителен к радиочастотным помехам.

Датчики блочно-модульного исполнения компании Granville-Phillips характеризуются компактным дизайном, а также существенно низкой стоимостью монтажа. Будут идеальным решением на участках, где решающее важное значение имеет размер контроллера и возможность непосредственного управления.

Модули Mini-Convectron серии 275 компании Granville-Phillips являются комбинацией датчика Convectron промышленного исполнения и электроники, совмещенными в одном компактном модульном решении. Диапазон измерения данных модулей составляет от атмосферы до 1x10-4 Торр.


MKS Instrument Absolute Piezo 902

Вакуумметр Absolute Piezo 902

• Точное измерение давления независимо от состава газа;
• Пригоден для использования в агрессивных средах благодаря прочной конструкции из нержавеющей стали;
• Цельная структура Piezo обладает стойкостью к повреждениям, которые могут вызвать резкие воздушные потоки и вибрации;
• Сочетание встроенной электроники и датчика в одном устройстве с компактным дизайном;
• Доступны многочисленные эмуляции аналогового выхода;
• Управление технологическим процессом посредством установки до трех реле уставок с коротким временем отклика.

Сочетает технологию измерения давления на базе МЭМС-технологии производства датчика Piezo в исполнении с герметизированной мембранной из нержавеющей стали 316 и встроенную электронику. Вакуумметр серии 902В представляет собой экономичный прибор измерения абсолютного давления независимо от типа газа.


MKS Instrument UniMag 971B

Вакуумметр с холодным катодом UniMag, Серия 971B

• Конструкция небольшого размера и опорная площадь позволяют экономить место;
• Возможность сокращения времени простоя пользователем;
• Аналоговая и цифровая связь;
• Опциональный локальный дисплей.

UniMag серии 971В является экономически выгодным решением для измерения базового давления и давления вакуума, а также для использования в системах управления. Наряду с небольшим размером, широким диапазоном измерения и более низкой стоимостью, вакуумметр с холодным катодом UniMag серии 971 управляется через цифровой интерфейс или может выступать в качестве автономного аналогового устройства.


MKS Instrument DualMag 972B

Вакуумметр DualMag с холодным катодом/датчиком MICROPIRANI, Серия 972B

• Конструкция небольшого размера и опорная площадь основания позволяют экономить место;
• Возможность сокращения времени простоя пользователем;
• Аналоговая и цифровая связь;
• Сочетание двух датчиков в одном корпусе по невысокой цене;
• Опциональный локальный дисплей.

DualMag 972В сочетает обращенный магнетрон с холодным катодом и датчик MicroPirani, изготовленный с применением МЭМС-технологии по теплопроводности. MicroPirani предусмотрен для измерения диапазона на 1-2 декады ниже по сравнению с обычным датчиком Pirani для контроля измерений более низкого давления.


MKS Instrument QuadMag 974B

Вакуумметр QuadMag с холодным катодом/датчиками MICROPIRANI/PIEZO, Серия 974B

• Конструкция небольшого размера и опорная площадь основания позволяют экономить место;
• Возможность сокращения времени простоя пользователем;
• Аналоговая и цифровая связь;
• Сочетание двух датчиков в одном корпусе по невысокой цене;
• Опциональный локальный дисплей.

В конструкции вакуумметра QuadMag 974В предусмотрено сочетание обращенного магнетрона с холодным катодом и датчиков MicroPirani и Piezo с применением технологий дифференциального измерения вакуума. Наряду с небольшим размером, широким диапазоном измерения и более низкой стоимостью, вакуумметр cерии 974B управляется через цифровой интерфейс или может выступать в качестве автономного аналогового устройства.


MKS Instrument Micro-Ion 354

Ионизационный модуль Micro-Ion, Серия 354

• Измерение вакуумметрического давления до 109 Торр (10-9 мбар, 10-7 Па);
• Две нити накала увеличивают срок службы модуля;
• Сверхчистая конструкция обеспечивает быстрое срабатывание при создании вакуума;
• Может поставляться в исполнении с локальным дисплеем, который выступает вспомогательным средством при установке и диагностировании;
• Доступны исполнения с цифровыми интерфейсами RS-485 и DeviceNet;

В конструкции вакуумметра модульного типа MKS, Granville-Phillips серии 354 предусмотрено сочетание самого маленького в мире ионизационного вакуумметра и управляющей электроники для создания компактного, удобного, надежного и экономически выгодного решения для высоковакуумного применения. Ионизационный модуль Micro-Ion серии 354 характеризуется многими особенностями, обеспечивающие более точные и повторяющиеся измерения по сравнению с обычными вакуумметрами Байярда-Альперта, и имеет диапазон измерения от 5x10-2 Торр до 10-9 Торр. Ионизационный модуль Micro-Ion серии 354 выполнен в цельнометаллическом корпусе и нечувствителен к электрическим помехам. Достигнута высокая производительность при небольшом размере благодаря ряду усовершенствований, включая запатентованную конструкцию приемника амфотерных ионов, оптимизирующего движение электронов и сбор ионов.

Модули Micro-Ion серии 354 доступны с аналоговым выходом, интерфейсами RS-4585 или DeviceNet. Исполнения с аналоговым выходом и интерфейсом DeviceNet может выполняться с цифровым дисплеем для удобного снятия показаний на месте.


MKS Instrument Micro-Ion 390

Вакуумметр Micro-Ion ATM, Серия 390

• Постоянное измерение давления от высокого вакуума до атмосферы;
• Две нити накала ионизационного манометра увеличивают срок службы оборудования;
• Исполнение с реле уставок для контроля технологического процесса;
• Выходной сигнал - аналоговый, доступны исполнения с интерфейсами RS-485 или DeviceNet;
• Опциональный графический ЖК-дисплей.

В конструкции Micro-Ion ATM модульного типа MKS, Granville-Phillips серии 390 предусмотрено сочетание апробированной технологии создания ионизационного вакуумметра Micro-Ion, миниатюрного датчика интенсивности теплоотдачи Conductron, а также двух резистивных датчиков Piezo для получения точного, продолжительного измерения давления от глубокого вакуума до атмосферы. Благодаря мембранным чувствительным элементам, модуль Micro-Ion ATM Micro-Ion/Conductron/Piezo серии 390 обеспечивает точные показания абсолютного давления до атмосферы наряду с достоверной индикацией дифференциального давления в вакуумной камере относительно внешнего атмосферного давления. Уникальный дизайн вакуумного датчика способствует рассеиванию теплового воздействия, которое может повлиять на эксплуатационные качества датчика при интенсивности теплоотдачи в условиях повышенного давления. Небольшой модуль Micro-Ion ATM Micro-Ion/Conductron/Piezo серии 390 объединяет все 4 датчика и управляющую электронику в компактном дизайне, сокращая число необходимых средств измерения в камере и минимизируя требуемое пространство.

Полный диапазон измерения давления, выполняемый модулем Micro-Ion ATM Micro-Ion/Conductron/Piezo серии 390, выдается через аналоговый сигнал; доступно исполнение со связью через последовательный цифровой интерфейс RS-485 или DeviceNet. Исполнения с интерфейсами RS-485 и DeviceNet выполнены с 1-3 реле уставок, которые могут быть настроены для управления технологическим процессом, с возможностью установки на любое значение в пределах диапазона измерения вакуума или на конкретную величину дифференциального давления.


MKS Instrument Micro-Ion 392

Вакуумметр Micro-Ion PLUS 392

• Постоянное измерение давления от высокого вакуума до атмосферы;
• Сочетание нескольких датчиков в одном корпусе в компактном дизайне;
• Две нити накала ионизационного манометра увеличивают срок службы оборудования;
• Исполнения с интерфейсами RS-485 и DeviceNet выполнены с реле уставок для управления технологическим процессом.

Модуль Micro-Ion Plus MKS, Granville-Phillips серии 392 – второе поколение широкодиапазонных модулей, сочетающих стандартный промышленный ионизационный датчик Micro-Ion и миниатюрный датчик Pirani Conductron, для обеспечения точного, продолжительного измерения давления от глубокого вакуума до атмосферы. Модуль Micro-Ion Plus MKS, Granville-Phillips серии 392 объединяет стандартизированный в промышленности и испытанный в эксплуатации ионизационный датчик Micro-Ion от компании Granville-Phillips и инновационный миниатюрный датчик вакуума Pirani Conductron в одном корпусе вместе с компактным модулем контролирующей электроники. Небольшой модуль Micro-Ion Plus Micro-Ion/Conductron/Piezo серии 392 в компактном дизайне сокращает число отдельных средств измерения, интерфейсов для произведения замеров вакуума, кабельных соединений и управляющей электроники, которые, как правило, требуются для проведения измерения давлений в широком диапазоне. Полный диапазон измерения давления выдается через аналоговый сигнал, доступно исполнение со связью через последовательный цифровой интерфейс RS-485 или DeviceNet. Доступны исполнения с 1-3 реле уставок, которые могут быть настроены для управления технологическим процессом, с возможностью установки реле на любое значение в пределах широкого диапазона измерения вакуума. Модуль Micro-Ion Plus MKS, Granville-Phillips серии 392 доступен с дисплеем или без дисплея, может компоноваться с широким рядом фланцев.


MKS Instrument Stabil-Ion 347

Модуль Stabil-Ion 347

• Превосходные эксплуатационные характеристики датчика Stabil-Ion в компактном корпусе;
• Точное измерение вакуумметрического давления от 10-11 Торр (10-11 мбар, 10-9 Па);
• Две нити накала увеличивают срок службы оборудования;
• Выполнен в цельнометаллическом корпусе без использования стекла, нечувствителен к радиочастотным помехам;
• Легкая и быстрая замена датчиков благодаря модульному исполнению;
• Соответствует европейским требованиям СЕ.

Компактный, удобный и надежный модуль Granville-Phillips Stabil-Ion серии 347 с креплением управляющей электроники непосредственно на измерительный датчик. Модуль Stabil-Ion серии 347 обладает всеми особенностями и преимуществами измерительного датчика Stabil-Ion в модульном исполнении.


MKS Instrument MicroPirani 905

Комплект MicroPirani VACUUM SENSOR KIT 905

• Широкий диапазон измерения давления до 10-5 Торр;
• Три открытые коллекторные уставки для усовершенствованного контроля процессом;
• Интуитивно понятный интерфейс для цифровой связи с управляющим хостом или компьютером;
• Аналоговый выходной сигнал 0,5 В постоянного тока/декада;
• Прочная конструкция устойчива к вибрациям и перегрузкам;
• Стандартный штыревой разъем DIP 28 pin для легкого подключения.

Комплект MicroPirani Vacuum Sensor Kit серии 905 является ультра-компактным широкодиапазонным вакуумметром, который спроектирован для системной интеграции семейства OEM. Вакуумметр изготовлен с применением апробированной МЭМС-технологии (микро-электромеханические системы) по теплопроводности и отвечает требованиям для встроенных средств измерения вакуума.

Комплект MicroPirani Vacuum Sensor Kit серии 905 является откалиброванным решением измерения вакуума, работающий на технологии plug and play и спроектирован для системной интеграции семейства OEM. Комплект состоит из датчика давления на базе МЭМС-технологии, измерительной электроники и процессорного блока.

Компания "БЛМ Синержи" предалагает купить вакуумметр по доступной цене и с доставкой в любой регион России. Если вас интересует стоимость прибора, достаточно отправить запрос или позвонить по любому из номеров указанных в разделе контакы.