Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
Главная > ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА> MKS Instruments> Вакуумметры

Вакуумметр MKS Instrument 900 (измерение вакуума)

900 серия MKS Instrument созданная на базе современных технологий MEMS (Микро Электромеханические Системы), в сочетании с Mini Ion BA и Сold Сathode Inverted Magnetron технологиями, предлагает пользователям на выбор Вакуумметры в диапазоне измерения от атмосферного давления до сверхвысокого вакуума. Разработанные для применения в широком круге интегрированных задач, Вакуумметры представляют собой полностью автономную микропроцессорную систему с аналоговым и цифровым (RS485 и RS 232) интерфейсом. Цифровой интерфейс позволяет отслеживать значения и проводить все настройки в реальном времени с компьютера пользователя.

Вакуумметр MicroPirani/Piezo 901 Plus для измерения вакуума

Вакуумметр MicroPirani/Piezo 901 Plus

Сочетание в одном компактном корпусе двух сенсоров (MicroPirani, Differential Piezo), позволяет измерять и задавать до трёх уставок (точки переключения контактов встроенного реле) в диапазоне от 10-5 до 1000 Торр абсолютного и от -760 до +760 Торр относительного давления. Разработанный для применения в шлюзовых и загрузочных камерах вакуумметр обеспечивает высокую точность измерения вакуума при работе в условиях переменного давления и выдерживает перегрузку до 1500 Торр.

Вакуумметр MicroPirani 925 для измерения вакуума

Вакуумметр MicroPirani 925

Надёжный принцип работы, основанный на изменении конвективной теплопроводности, в сочетании с запатентованной MKS Instumants технологией производства сенсора MicroPirani позволили расширить на два порядка диапазон измерения вакуума, от 10-5 Торр до атмосферы, по сравнению со стандартными датчиками Pirani. Вакуумметры 925 Серии позволяют задавать три/одну уставки.

Вакуумметр DualTrans MicroPirani/Absolute Piezo 910

Вакуумметр DualTrans MicroPirani/Absolute Piezo 910

Сочетание в одном компактном корпусе двух сенсоров (MicroPirani, Absolute Piezo), позволяет измерять и задавать до трёх уставок в диапазоне от 10-5 до 1500 Торр. В этом случае единый сглаженный выходной сигнал обеспечивают: в диапазоне от 1500 до 15 Торр -
Absolute Piezo (абсолютный сенсор давления), в диапазоне от 15 до 10-5 Торр - MicroPiraniTM (тепловой сенсор Pirani).

Вакуумметр Absolute Piezo 902 для измерения вакуума

Вакуумметр Absolute Piezo 902

Независимо от рода газа Piezo сенсор с интегрированной электроникой и температурной компенсацией позволяет измерять с высокой точностью в абсолютных величинах давление в диапазоне < 1 до 1000 Торр. Датчики Серии 902 это высокая коррозионная стойкостью и точное измерение вакуума.

Вакуумметр высоковакуумный Mini Ion BA 909AR

Вакуумметр высоковакуумный Mini Ion BA 909AR

Принцип действия, основанный на пропорциональности между величинами давления и ионного тока в ионизуемом термоэлектронами газе, позволяет измерять давление в диапазоне от 10-2 до 10-10 Торр. Источником термоэлектронов является Иридиевая нить накала с иттриевым покрытием. Автоматическая функция дегазации предохраняет нить накала от перегорания и увеличивает срок службы.

Вакуумметр AVT 979

Вакуумметр AVT (Атмосфера-Вакуум) 979

Сочетание в одном компактном корпусе двух сенсоров (MicroPirani, Mini Ion BA) обеспечивает измерение вакуума от 10-10 Торр до атмосферы.

Вакуумметр UniMag 971

Вакуумметр UniMag 971

Магниторазрядный сенсор обеспечивает измерение от 10-8 до 5*10-3 Торр.

Вакуумметр DualMag 972

Вакуумметр DualMag 972

Сочетание в одном корпусе двух сенсоров (Сold Сathode Inverted Magnetron и MicroPirani) обеспечивает измерение вакуума от 10-8 Торр до атмосферы.

Вакуумметр QuadMag 974

Вакуумметр QuadMag 974

Измерения вакуума с возможностью перехода через атмосферу от 10-8 до 1500 Торр. В одном корпусе размещены три сенсора - Сold Сathode Inverted Magnetron, MicroPirani, Piezo.

Вакуумметр 999 Quattro

Вакуумметр широкодиапазонный 999 Quattro

Полное решение задачи измерения вакуума с возможностью перехода через атмосферу, диапазон измерения от 10-10 до 1000 Торр. В одном компактном корпусе размещены четыре сенсора - MicroPiraniTM, Absolute и Differential Piezo, Mini Ion BA.

Магниторазрядный вакуумметр 903 I-Mag

Магниторазрядный вакуумметр 903 I-Mag

Благодаря принципу инвертированного магнетрона, данная серия вакуумметров предлагает более широкий диапазон измерения, в сравнении с обычными пеннинговскими вакуумметрами.

Блок питания/индикации PDR 900

Блок питания/индикации PDR 900

Подходит для работы со всеми вакуумметрами серии 900. LCD дисплей. Три уставки. Подключение вакуумметров по принципу plug-and-play.
Встроенная процедура течеискания. Питание 100..240 В, 50..60 Гц.

 

Интегрированный дисплей

Датчики давления серий 901, 925, 970 могут быть оснащены интегрированным LED дисплеем с изменяемой ориентацией показаний.

На дисплее отображаются: давление, направление изменения давления, статус реле, единицы измерения, тип сенсора.

Технические характеристики

Серия

901 P

925

910

902

909 AR

Диапазон измерения (Торр)

10-5 до 1000

10-5 до Атмосферы

10-5 до 1500

<1 до 1000

3∙10-10 до 5∙10-2

Рабочая температура

0ºС до 40ºС

0ºС до 40ºС

0ºС до 40ºС

0ºС до 50ºС

0ºС до 40ºС

Максимальная
температура
отжига

85ºС,
датчик
не работает

85ºС,
датчик
не работает

85ºС,
датчик
не работает

85ºС,
датчик
не работает

300ºС с CF
150ºС с ISO
со снятой
электроникой

Интерфейс

RS485/RS232

RS485/RS232

RS485/RS232

RS485/RS232

RS485/RS232

Аналоговый сигнал

1...9 В,
1 В/Декада

1...9 В,
1 В/Декада

1...9 В,
1 В/Декада

0-5 или 0-10 В,
линейный или
логарифм-кий

0-10 В,
1 В/Декада

Питание

9-30 В,
<1,2 Вт

9-30 В,
<1,5 Вт

9-30 В,
<1,5 Вт

12-30 В,
<0,5 Вт

24 В,
15 Вт

Погрешность измерения

10-4...10-3 Торр
±10%
10-3...100 Торр
±5%
100 Торр...Атм.
±25%

10-4...10-3 Торр
±10%
10-3...100 Торр
±5%
100 Торр...Атм.
±25%

10-4...10-3 Торр
±10%
10-3...50 Торр
±5%
50...1000 Торр
±1%

<1% от
сч. значения
±20% от
сч. значения

Технические характеристики

Серия

971

972

974

979

999

903

Диапазон измерения (Торр)

10-8 до 5∙10-3

10-8 до Атмосферы 10-8 до 1500

5∙10-10 до Атмосферы

5∙10-10 до 1000

3∙10-10 до 5∙10-3

Рабочая
температура

0ºС до 40ºС

0ºС до 40ºС

0ºС до 40ºС

0ºС до 40ºС

0ºС до 40ºС

0ºС до 50ºС

Максимальная
температура
отжига

85ºС,
датчик
не работает

85ºС,
датчик
не работает

85ºС,
датчик
не работает

85ºС,
датчик
не работает

85ºС,
датчик
не работает

400ºС с CF
150ºС с ISO
со снятой
электроникой

Интерфейс

RS485/RS232

RS485/RS232

RS485/RS232

RS485/RS232

RS485/RS232

Аналог

Аналоговый сигнал

0,5...7 В,
0,5 В/Декада

0,5...7 В,
0,5 В/Декада

0,5...7 В,
0,5 В/Декада

0,5...7 В,
0,5 В/Декада

0,5...7 В,
0,5 В/Декада

1,5...8,7 В,
логарифм-кий

Питание

9-30 В,
<2 Вт

9-30 В,
<2 Вт

9-30 В,
<2 Вт

24 В,
15 Вт

24 В,
15 Вт

14-30 В,
<3 Вт

Погрешность измерения

±30% от
сч. значения

10-8...10-3 Торр
±30%
10-3...100 Торр
±5%
100 Торр...Атм.
±25%

10-8...10-3 Торр
±30%
10-3...50 Торр
±5%
50...1000 Торр
±1%

10-9...10-3 Торр
±20%
10-3...100 Торр
±5%
100 Торр...Атм.
±25%

10-9...10-3 Торр
±20%
10-3...50 Торр
±5%
50...1000 Торр
±1%

±25% от
сч. значения

Компания "БЛМ Синержи" является официалным дистрибъютором MKS Instrument в Росси. Помимо приборов для измерения вакуума, мы готовы предложить - баратроны, масс-спектрометрыанализаторы газовой среды и многое другое.

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Вакуумметры | Купить приборы для измерения вакуума