Москва:  
Санкт-Петербург:  
Новосибирск:  

[495] 781-39-39
[812] 389-43-73
[383] 363-37-93

 

Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск: 

[343] 386-20-69
[831] 261-32-18
[351] 200-94-89

 

 

 
 
Главная > ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА> Pfeiffer Vacuum> Турбомолекулярные насосы

Вакуумный турбомолекулярный насос / Турбонасос

Вакуумный турбомолекулярный насос Pfeiffer Vacuum (Германия) ориентирован на широкий спектр применения, включающий в себя не только научные исследования и аналитику, но и процессы, связанные с микроэлектроникой, тонкопленочными технологиями, ядерной физикой, а также промышленные приложения.

Более 50 лет назад компания Pfeiffer Vacuum изобрела первый турбонасос! Турбомолекулярные насосы представляют самые последние решения ориентированные на будущее, для широкого спектра применений. Этот спектр включает не только аналитическое оборудование, различные вакуумные процессы и полупроводниковые технологии, но также и системы напыления и нанесения покрытий, научно-исследовательские и опытноконструкторские работы, а также промышленные применения.

Гамма турбомолекулярных насосов включает широкий спектр со скоростью откачки от 10 до 2800 л/сек. Турбомолекулярные насосы обеспечивают высокую экономическую эффективность и гибкость. Хорошо зарекомендовавшие себя уникальные подшипники обеспечивают высокую надежность. Благодаря хорошо зарекомендовавшему себя дизайну ротора, достигнуты чрезвычайно высокие значения скорости откачки, рабочего давления на выхлопе и газовой нагрузки, а также компрессии по легким газам.

Pfeiffer Vacuum MDP

Молекулярный высоковакуумный насос серии MDP

  • Скорость откачки 7,5 л/с
  • Полностью безмасляная откачка
  • Скорость ротора 27 000 об/мин.

Pfeiffer Vacuum HiPace 10 - 800

Гибридный турбомолекулярный насос серии HiPace 10 - 800

Компактные турбонасосы с керамическими или с гибридными подшипниками со скоростью откачки от 10 до 800 л/сек.

Насосы данного модельного ряда характеризуются высокой производительностью и гибкостью, что позволяет устанавливать практически все насосы данной линейки в любой ориентации. Испытанная система подшипников обеспечивает непревзойденную надежность. Высокие скорости перекачки, высокая степень совместимости, высокая пропускная способность газа, а также отличная степень сжатия легких газов обеспечиваются принципиально новой конструкцией ротора.

Время разгона агрегатов HiPace в значительной степени сокращено, что повышает оперативность подготовки агрегатов к работе. На производстве это неоценимое преимущество. Кроме этого, расширен функционал дистанционного и сенсорного управления, что дает возможность оценки параметров работы насоса, например, температуры. Усовершенствованная диагностика позволяет повысить готовность насоса к эксплуатации и улучшить качество сервисного обслуживания.

  • Скорость откачки 10-800 л/с
  • Компактные размеры
  • Высокая надежность

Pfeiffer Vacuum HiPace 1200-2300

Гибридный вакуумный турбомолекулярный насос серии HiPace 1200 - 2300

Компактные турбонасосы с гибридными подшипниками со скоростью откачки от 1000 до 2300 л/сек.

Агрегаты можно устанавливать в перевернутом положени. Испытанная система подшипников обеспечивает непревзойденную надежность. Благодаря продуманной конструкции ротора достигаются высокие показатели скорости перекачки, совместимости с подкачивающим насосом, пропускной способности, а также степени сжатия легких газов. Используя возможности надежной системы датчиков, турбомолекулярные насосы HiPace обеспечивают самый высокий на рынке уровень безопасности

Апробированная и оптимизированная система подшипников не только улучшает характеристики продукции по сравнению с конкурентами, но и увеличивает срок эксплуатации. В насосах данной серии газовый клапан защищает подшипники от частиц или химически активных газов. В связи с этим, насосы HiPace характеризуются не только компактным исполнением, но и повышенной прочностью и пригодностью для применения в промышленном производстве, что выражается в оптимизированной возможности интеграции.

  • Скорость откачки 1000-2300 л/с
  • Выдерживают высокую газовую нагрузку
  • Малое время разгона

 


Pfeiffer Vacuum HiPace M

Гибридный вакуумный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе серии HiPace M

Насосы HiPace M оборудованы 5-осевым магнитным подшипником. За счет данного устройства подшипника осуществляется контроль положения ротора в реальном времени. Во время работы происходит автоматическая компенсация разбалансировки нагрузки, что снижает уровень вибраций и сводит к минимуму отклонения от технологических параметров. Низкий уровень потребления энергии и минимальные затраты на сервисное обслуживание гарантируют высокорентабельную эксплуатацию.

  • Скорость откачки 255-800 л/с
  • Магнитный подвес ротора
  • Система автоматической балансировки

Pfeiffer Vacuum ATH-M

Гибридный вакуумный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе серии ATH-M

Турбонасосы серии ATH M не только оборудуются магнитной подвеской – активный 5-осный магнитный подшипник контролирует положение ротора и регулирует любое отклонение от соответствующего положения в реальном времени. За счет такого высокотехнологичного устройства подшипника достигаются оптимальная устойчивость и надежность работы в сочетании с бесшумностью. Благодаря устройству подшипника и технологической ориентации высоковакуумных насосов, серия ATH M задает высочайший стандарт высокопроизводительных турбонасосов для использования в изготовлении полупроводников, технологических процессах нанесения покрытий и сухого травления, а также во многих областях применения промышленного производства и разработки новых технологических решений. 

  • Скорость откачки 500-3200 л/с
  • Выдерживают высокую газовую нагрузку
  • Низкий уровень вибраций
  • Низкое энергопотребление

 


Pfeiffer Vacuum ATP-M

Гибридный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе серии ATP-M для откачки лёгких газов

Обладая высокой пропускной способностью при высоком рабочем давлении, турбомолекулярные насосы на магнитной подвеске являются оптимальным решением для вакуумных производственных процессов. В сфере разработки новых технологических решений насосы отличаются минимальным уровнем вибрации даже при невысоком конечном давлении. Произвольное переключение частоты вращений обеспечивает оптимальное регулирование технологических параметров, а также даёт возможность прямой замены старых высоковакуумных насосов посредством настройки режима работы в зависимости от их скорости перекачивания.

 

Скорость откачки:

  • по водороду (H2) - 1700 л/с
  • по азоту (N2) - 1750 л/с
  • по гелию (Не) - 1800 л/с

Турбомолекулярный насос подходит под самые сложные задачи

Турбонасосы Pfeiffer Vacuum обеспечивают перемещение газа в пределах от 10 до 2700 л за секунду. Установки завоевали доверие клиентов своей эффективностью и гибкостью интегрирования в производство. Одной из отличительных черт является высокая надёжностью подшипниковых систем, которые доступны в двух конструкционных решениях:

Гибридный подшипник в разрезе

Гибридный подшипник

Сочетание керамического шарикоподшипника со стороны форвакуума и постоянного магнитного радиального подшипника со стороны высокого вакуума называют гибридным подшипником. Эта подшипниковая технология не требует электромагнитов и имеет длительный срок службы с интервалами техобслуживания приблизительно 4 года. Подшипник и резервуар с маслом могут быть заменены на месте установки насоса менее чем за 30 минут.

Магнитный подвес в разрезе

Магнитный подвес

Электромагнитные подшипники называют также „активным магнитным подвесом“, поскольку позиция ротора постоянно отслеживается и соответственно регулируется. Это обеспечивает неизнашиваемость, низкий уровень вибраций с автоматической компенсацией дисбаланса. Обеспечивается постоянная стабильность ротора. Эти подшипники не требуют ухода и смазывания.

Турбомолекулярный насос Pfeiffer Vacuum - стандарт безопасности

В современных центробежных насосах конечные точки на роторе достигают скорости свыше 400 метров в секунду. Соответственно, это приводит к высокой кинетической энергии самого ротора, которая передаётся за доли секунды от вращательной системы на корпус насоса в момент контакта ротора и статора. Таким образом, устойчивость корпуса имеет огромное значение для определения стабильности работы агрегата и устанавливается теоретическим и практическим путём. Предлагаемые нами турбомолекулярные насосы соответствуют сертификатам UL 61010 и Semi S2. Кроме того, разработанная Pfeiffer Vacuum совместно с TÜV Rheinland, механическая безопасность отвечает сертификатам противопожарной защиты и обеспечивает двукратную перегрузку по скорости вращения.

Преимущества для клиентов

Часто вакуумная технология является ключевым элементом успешного запуска и правильного прохождения многих производственных процессов. В зависимости от ситуации, расходы от бракованного товара могут достигать миллионов евро. Это обстоятельство делает вакуумную технологию ещё более важным компонентом, который обеспечивает максимальное качество продукции. Для современных турбомолекулярных насосов время эксплуатации до 100 000 часов - известный факт. Продолжительность работы может составлять порядка 11 лет непрерывной работы. В течение такого периода насос должен пройти несколько плановых остановок и технических осмотров. Компания Pfeiffer Vacuum расширила возможности диагностики для обеспечения этих требований. С помощью собранных данных, осуществляется обслуживание установки. Любой вид необходимого обслуживания легко прогнозируется и предварительно назначается пользователем. Учитывая то, что замена масла и подшипников может быть произведена на месте, вакуумные системы Pfeiffer Vacuum отличаются максимальной продолжительностью работы. Электронный блок управления насосом значительно уменьшает затраты на дополнительные и вспомогательные провода. Ультрасовременная технология привода минимизирует потребление электроэнергии и предоставляет универсальные возможности управления насосом. IP54-класс защиты корпуса позволяет применять эти установки в различных промышленных сферах. Компактная конструкция турбомолекулярного насоса гарантирует лёгкость установки в ограниченном пространстве. Для каждой серии насосов существуют различные варианты электрических приводов, которые сводят к минимуму затраты на потребление электроэнергии. Даже сам вес насосной станции был подвергнут тщательному исследованию, что позволило разработать насос весом в 6 кг, который может откачивать 250 л в секунду. Широкий спектр применения турбонасосов Pfeiffer Vacuum включает в себя не только решение аналитических и исследовательских задач, обеспечение вакуумных процессов для полупроводниковой промышленности, но также и промышленные варианты использования.

Сфера применения

Вакуумная технология играет основополагающую роль как в производстве многих изделий повседневной жизни, так и во многих сферах инженерных исследований.

Варианты применения могут быть самыми разнообразными:
- Аналитика (масс-спектрометрия, электронная микроскопия, и многое другое);
- Полупроводниковая промышленность (электронные компоненты, интегральные схемы, солнечные батареи и т. д.);
- Оптическая промышленность (инфракрасная защита, антиотражение, отражение, оптические фильтры и т. п.);
- Технологии нанесения покрытий (защитные поверхности, декоративные покрытия, дисплеи, экраны и многое другое);
- Вакуумная металлургия (вакуумная пайка и спекание, плавка и вакуумные печи);
- Обнаружение утечек (вакуумные системы, транспортные цистерны, воздушные подушки, герметичные упаковки);
- Научно-исследовательские объекты (ядерная физика, термоядерные исследования, лазеры и т. д.);
- Ламповая промышленность (производство ламп и многое другое).

Компания "БЛМ Синержи" предлагает купить турбомолекулярный насос с доставкой и установкой на вашем предприятии. Также у нашей компании есть собственный сервисный отдел, готовый обнаружить и устранить неполадки оборудования в случае их появления.

Москва тел.: [495] 781-39-39                              Санкт-Петербург тел.: [812] 389-43-73                              e-mail:                              Карта сайта
Турбомолекулярный насос | Купить вакуумные турбонасосы Pfeiffer Vacuum