Турбомолекулярные насосы / Турбонасосы
Стандартные нагнетатели не дают возможность получить глубокий вакуум в закрытом пространстве. Для выполнения этой задачи создано специальное устройство – турбомолекулярный насос. Насос был разработан инженером компании Pfeiffer Vacuum и оснащен высокоскоростным ротором. При частоте вращения до 90 000 об/мин он создаёт разрежение менее 10-11 ГПа. Это создаёт идеальные условия давления для самых разных задач, включая работу в условиях высокого, сверхвысокого и даже ультравысокого вакуума.
• Скорость откачки 7,5 л/с
• Полностью безмасляная откачка
• Скорость ротора 27 000 об/мин.
• Самый высокий уровень сжатия, особенно для легких газов
• Идеально подходит для высокого и сверхвысокого вакуума до 10-11 мбар
• Лучшие показатели сверхвысокого вакуума даже в сочетании с мембранными насосами
• Скорость откачки 10-800 л/с
• Компактные размеры
• Высокая надежность
• Скорость откачки 270-380 л/с
• Компактные размеры
• Высокая надежность
• Скорость откачки 1000-2300 л/с
• Выдерживают высокую газовую нагрузку
• Малое время разгона
• Скорость откачки 255-800 л/с
• Магнитный подвес ротора
• Система автоматической балансировки
• Скорость откачки 500-3200 л/с
• Выдерживают высокую газовую нагрузку
• Низкий уровень вибраций
• Низкое энергопотребление
Скорость откачки:
• по водороду (H2) - 1700 л/с
• по азоту (N2) - 1750 л/с
• по гелию (Не) - 1800 л/с
Доступны два конструкционных варианта
Турбомолекулярный насос Pfeiffer Vacuum доступен с двумя различными технологиями подшипников: гибридной подвеской подшипников и активной 5-осевой системой магнитной подвески. Каждая из этих систем имеет свои преимущества.
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе
Турбонасосы на магнитном подвесе оснащены ротором, который удерживается в подвешенном состоянии благодаря электромагнитам. Также они имеют цифровую электронную систему управления, которая гарантирует отсутствие механических точек контакта между ротором и внешним корпусом. В случае отключения электроэнергии или возникновения сбоя, питание обеспечивается за счёт энергии вращения турбонасоса до тех пор, пока его ротор не будет надёжно зафиксирован на аварийных подшипниках. Такая конструкция защищает ротор от преждевременного износа. Это позволяет ему работать без необходимости технического обслуживания на протяжении всего срока службы. Кроме того, турбонасосы на магнитном подвесе не требуют смазочных материалов, что исключает риск загрязнения углеводородами.
Турбомолекулярные насосы с гибридным подшипником
В турбомолекулярных насосах с гибридными подшипниками используется комбинация керамических шарикоподшипников со стороны форвакуума и подшипников с постоянными магнитами со стороны высокого вакуума. Такое сочетание обеспечивает создание прочной и чистой конструкции подшипников ротора. Встроенный резервуар для рабочей жидкости позволяет ротору легко отводить тепло, обеспечивая надёжную работу. Абразивные частицы отфильтровываются через специальный резервуар с рабочей жидкостью, что позволяет увеличить общий срок службы.
Принцип работы турбомолекулярного насоса
Турбонасос относится к группе кинетических вакуумных насосов. Конструкция напоминает турбину, состоящую из многоступенчатого ротора турбиноподобного типа с лопастными дисками, вращающимися в корпусе. Аналогичным образом между дисками ротора зеркально расположены лопастные диски статора одинаковой геометрии. Таким образом, когда частица газа попадает на лопасть ротора, удар ускоряет ее в направлении вращения. Лопасти следующего диска статора направляют поток воздуха в сторону нагнетания. Там он попадает на следующий диск ротора, где получает ещё один импульс.
Преимущества турбомолекулярных насосов
Турбонасос играет важную роль в производственных процессах и научных исследованиях. Если вы работаете в одной из перечисленных выше отраслей, вакуум необходим для создания необходимых условий труда и производства. Например, производство полупроводников или электронная микроскопия были бы невозможны или значительно затруднена без использования турбонасоса.
Благодаря сложной конструкции ротора турбомолекулярный насос Pfeiffer Vacuum обладает высокой скоростью откачки, хорошо совместим с форвакуумными насосами, имеет высокую производительность по газу и сжатию.
• Оптимальные условия работы: до 90 000 об/мин для создания высокого, сверхвысокого и ультра высокого вакуума до <10-11 ГПа и скорости откачки от 10 до > 3 000 л/с.
• Высокая эффективность и превосходное качество: до 100 000 часов бесперебойной работы
• Высокая гибкость: благодаря своей компактной и лёгкой конструкции турбонасос может быть легко интегрирован даже в системы с ограниченным пространством. Насос имеет класс защиты IP54 и специально разработан для применения в промышленности.
• Сокращение времени простоя производства: меняйте подшипники и расходные материалы прямо на производстве.
• Современная электроника привода обеспечивает: снижение потерь при передаче мощности, максимальную энергоэффективность и интеграцию новейших систем полевых шин.
• Работа с низким уровнем вибрации и шума: благодаря высокоточному методу лазерной балансировки турбонасос идеально подходит для использования в системах, чувствительных к вибрации.
Повышенная безопасность на рабочем месте
Современный турбомолекулярный насос способен достигать частоты вращения до 1500 Гц. При такой скорости вращения возрастает кинетическая энергия, а значит, и нагрузки на корпус насоса. Если в работе насоса возникает неисправность, то эти нагрузки могут быть зафиксированы за доли секунды.
Компания Pfeiffer Vacuum, стремясь обеспечить безопасность на производстве, разработала сертификат безопасности совместно с TÜV Rheinland. Этот сертификат включает в себя двойную защиту от превышения скорости в дополнение к механической безопасности. Поскольку вакуумный турбонасос Pfeiffer Vacuum отличается высокой надёжностью и рассчитан на длительный срок службы, компания проводит оценку и сертификацию турбомолекулярных насосов в соответствии с рекомендациями UL 61010 и Semi S2. Это гарантирует безопасную эксплуатацию оборудования.
В чём особенность нового метода лазерной балансировки Pfeiffer Vacuum?
В отличие от традиционных методов балансировки, лазерная балансировка не требует установки балансировочных грузов или механического фрезерования. Высокоточный лазер эффективно и точно испаряет материал в плоскостях балансировки благодаря своей гибкости и современным алгоритмам измерения и расчёта. В результате остаточный дисбаланс значительно ниже, чем при обычной балансировке. Это приводит к созданию турбонасоса с низким уровнем вибрации, увеличенным сроком службы и сниженным уровнем шума. Такой турбонасос идеально подходит для устройств и применений, где требуется минимальная вибрация.
Области применения
Вакуумные технологии играют важную роль в промышленном производстве и технических исследованиях.
Турбонасосы Pfeiffer Vacuum находят применение в различных областях:
• Аналитические приложения (масс-спектрометрия, электронная микроскопия);
• Светотехническая промышленность (производство ламп);
• Оптическая / стекольная промышленность (теплозащитные, антибликовые, светоотражающие покрытия и оптические фильтры);
• Научно-исследовательские центры (физика элементарных частиц, исследования термоядерного синтеза, применение лазеров);
• Полупроводниковая промышленность (электронные компоненты, интегральные схемы (ИС), солнечные батареи);
• Технология вакуумного нанесения покрытий (защита поверхности, декоративные покрытия, дисплеи, экраны);
• Вакуумная металлургия (вакуумная пайка, вакуумное спекание, вакуумные сплавы);
• Технология обнаружения утечек в вакууме (вакуумные системы, топливные баки, картриджи подушек безопасности, упаковка).
Скорость откачки и степень сжатия
Основными характеристиками турбонасоса являются скорость откачки и степень сжатия. Скорость откачки показывает, насколько эффективно насос может удалять определённый объём воздуха из камеры или поддерживать постоянный поток газа. Степень сжатия — это способность насоса эффективно работать в паре с форвакуумным насосом, предотвращая попадание молекул в вакуумную камеру. Обе эти характеристики зависят от типа газа.
Мегагрупп.ру