Квадрупольные масс-спектрометры
Аналитическое оборудование для оптимизации технологического процесса и качества.
Предлагаем широкую линейку анализаторов для определения состава газа в вакуумном процессе от таких известных компаний как Pfeiffer Vacuum и MKS Instruments. Наша компания поможет найти правильный подход к проведению анализа газа в широком диапазоне условий - от сверхвысокого вакуума до атмосферного давления - с использованием различных технических средств, от квадрупольных масс-спектрометров до сложных аналитических комплексов.
Компактные датчики с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.
• Оптимальная адаптируемость благодаря модульной конструкции
• Простая и гибкая система интеграции с аналоговыми и цифровыми входами и выходами, работающая по сети Ethernet.
• Низкий уровень обнаружения парциального давления - 1*10-15
• Экономия времени благодаря интуитивному управлению программным обеспечением PV MassSpec
Компактные квадрупольные масс-спектрометры с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.
• Анализ остаточных газов и общий газовый анализ
• Простая и гибкая система интеграции с аналоговыми и цифровыми входами и выходами, работающая по сети Ethernet.
• Высокая производительность и скорость измерения, стабильность, простота использования
• Максимальная чувствительность и широкий динамический диапазон
• Взаимозаменяемость анализаторов и электроники, модульное исполнение
• Версии с C-SEM детектором (для сверх высокого вакуума) и с детектором Фарадея (для высокого вакуума)
• Низкий уровень обнаружения парциального давления - 1*10-4
Являются компактными настольными приборами для систем анализа газов. Идеально подходят для исследований газа в химических процессах, производстве полупроводников, металлургии, процессах ферментации и катализа, лазерных технологиях и анализе газов для экологических стандартов. Спектрометры ThermoStar разработаны специально для соединения с термобаллансировочной системой.
Компактные квадрупольные масс-спектрометры с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.
• Анализ остаточных газов и общий газовый анализ
• Простая и гибкая система интеграции с аналоговыми и цифровыми входами и выходами, работающая по сети Ethernet.
• Высокая производительность и скорость измерения, стабильность, простота использования
• Максимальная чувствительность и широкий динамический диапазон
• Взаимозаменяемость анализаторов и электроники, модульное исполнение
• Версии с C-SEM детектором (для сверх высокого вакуума) и с детектором Фарадея (для высокого вакуума)
• Низкий уровень обнаружения парциального давления - 1*10-4
Prisma Plus — это идеальное решение для масс-спектрометрии, объединяющее высокую чувствительность, невероятную стабильность и интеллектуальные функции. Его модульное исполнение создает широкие возможности для применения в производственной и аналитической областях, в сфере НИОКР, при контроле герметичности и в производстве полупроводников, а также в технологиях нанесения покрытий.
• Работа при давлении до < 10-4 мбар;
• Максимальная чувствительность и широкий динамический диапазон;
• Очень высокая скорость измерения и стабильность;
• Комплектуются блоком управления, ВЧ генератором и анализатором.
Максимальная производительность при любом количестве задач
HiQuad сочетает в себе высокую производительность, универсальность и простоту использования. Как независимый модуль, HiQuad может быть легко внедрен в Вашу систему в зависимости от решаемой задачи. Высокая скорость измерений – до 125 µс/а.е.м. позволяет проводить очень быстрые измерения.
SPM - Анализ газов в диапазоне до 10 мбар в режиме реального времени с диапазонами работы 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м.
• Высокий уровень обнаружения Н2, О2, Н2О, СО2
• SPM источник ионов - мгновенный анализ газовой среды
• Дифференциальный клапан
• Версии с предохранительным/без предохранительного клапана
HPA - Анализ газов до 50 мбар.
• Гибкая система - варианты с пятью ручными или электропневматическими программами напуска газа
• Д1*10-7 до 50 мбар
• Поставляется с дополнительным отверстием 0,1 мм для 0,1 - 1 мбар (N2)
• 1...100 а.е.м., 1...200 а.е.м. и 1...300 а.е.м.
• Двойной запорный клапан
5 вариантов ручных или электропневматических программ управления напуском газа делают модель этой серии достаточно гибкой в использовании при давлении до 50 мбар. Лёгкая и гибкая интеграция в систему анализа с помощью аналоговых и цифровых входов/выходов.
• Диапазон измеряемых масс: 1-100 или 1-200 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 1*10-4 Торр (1,3*10-4 мбар)
• Чувствительность ионного источника: 2*10-4 А/мбар
Серия отличается низкой стоимостью, минимальной рабочей конфигурацией и простотой подключения благодаря наличию встроенного web-сервера, что позволяет подключать прибор к локальной сети с помощью загрузки IE или, используя ASCII протокол или с помощью программного обеспечения EasyView, проводить экспресс-диагностику остаточной атмосферы.
• Диапазон измеряемых масс: 100, 200, 300 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 7,6*10-5 Торр
• Чувствительность ионного источника: 2*10-4 А/мбар
• Чаша Фарадея: 1,5*10-11 Торр
Прибор серии MicroVision 2, высокостабильный к ВЧ воздействиям, обладает минимальным температурным дрейфом и быстрым выходом на режим, обеспечивает высокоскоростное сканирование в широком диапазоне а.е.м..
• Диапазон измеряемых масс: 100, 200, 300 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 1*10-3 Торр на входе источника ионов
• Мин. обнаруживаемое парциальное давление: <2*10-11 Торр (для общего <1*10-4 Торр на базовом входе)
Устройства серии Vision, это инновационные приборы для контроля обработки технологических процессов на месте, которые полностью интегрированы в пакеты для конкретных приложений, включая анализаторы остаточных газов компонентов (RGAs), аналитическое оборудование и управляющее программное обеспечение. Технологические масс-спектрометры используются в различных приложениях, в том числе: Полупроводники, тонкие пленки (CVD, травление, PVD и дегазация), фармацевтическая лиофилизация и мониторинг чистоты газа.
• Диапазон измеряемых масс: 1-100 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 0,001 Торр
• Мин. определяемое парциальное давление: 8*10-11 торр
• Мин. определяемая концентрация: 5ppm при 0,001 торр
HPQ3 позволяет работать далеко за пределом 1*10-4 мбар других RGА, без необходимости дифференциальной откачки. Испытанная на практике технология в сочетании с новейшей инновационной платформой электроники семейства Microvision 2 обеспечивают качество данных, ранее не наблюдавшееся в этом классе приборов. HPQ3 имеет множество вариантов управления программным обеспечением, чтобы соответствовать требованиям любого приложения.
• Диапазон измеряемых масс: 1-100 а.е.м.
• Макс. рабочее давление: 0,008 торр
• Мин. определяемое парциальное давление: 8*10-11 торр
• Мин. определяемая концентрация: 5 ppm при 0,001 торр
Для специфических применений, вплоть до 1*10-2 мбар. Проверенная на практике технология в сочетании с новейшей электроникой от Microvision 2 обеспечивает получение данных высочайшего качества, которые ранее были недоступны для подобных устройств.
• Диапазон измеряемых масс:
- Стандартно: 1-100 а.е.м.
- Опционально: 100HP, 1-200 а.е.м., 1-300 а.е.м.
• Мин. определяемая концентрация: Независимая от газа и массы минимальная обнаруживаемая концентрация 3 сигма, базовый шум <15 ppb
• Расход газа: 20 мл/мин
Не существует универсального масс-спектрометра, который подходил бы для всех возможных областей применения. Начальные условия и цели анализа различаются в зависимости от конкретного случая. Поэтому перед выбором оборудования важно чётко понимать, какую задачу анализа необходимо решить, и определить цель использования оборудования.
Основные требования, которые следует учитывать, включают в себя следующие критерии:
• Скорость измерения
• Разрешение
• Массы, подлежащие обнаружению
• Предел обнаружения
Рассмотрим влияние отдельных компонентов на эффективность анализа. В масс-спектрометрии действует общее правило: точность пропорциональна цене. Иногда необходимо учитывать критические факторы, требующие определённых действий или особого внимания.
Скорость измерения
Скорость измерения в анализаторе может регулироваться в зависимости от задач, стоящих перед пользователем. Например, квадрупольный масс-спектрометр PrismaPro позволяет регулировать эту скорость в диапазоне от 1 мс до 16 с. Следует отметить, что скорость измерения непосредственно влияет на уровень шума как сигнала, так и фона.
Обнаруживаемые массы
Важно определить, какие массы необходимо выявить для конкретной области применения. Рекомендуется выбирать наименьший подходящий диапазон масс, поскольку меньший диапазон обеспечивает лучшую чувствительность (сигнал).
Разрешение
Разрешение можно настроить в зависимости от области применения с помощью программного обеспечения. Оно влияет на разделение и высоту сигнала. В большинстве случаев используется стандартное разрешение.
Предел обнаружения
На предел обнаружения влияют чувствительность и перекрытие пиков. Чувствительность также варьируется в зависимости от используемого детектора (Faraday vs. Faraday/SEM).
Подходит для любого применения
Существуют различные конфигурации и периферийные устройства для квадрупольных масс-спектрометров, которые можно подобрать в зависимости от требований. С помощью масс-спектрометра в основном определяют парциальное давление, а вакуумные измерительные трубки используют для измерения общего давления. Устройство позволяет анализировать только газы, хотя возможно также исследование твердых или жидких веществ после их предварительного испарения.
Важными критериями при выборе устройства являются:
- Рабочий диапазон и соответствующая конструкция;
- Аналитические характеристики (включая измеряемую массу, предел обнаружения, скорость измерения).
Квадрупольные масс-спектрометры для анализа остаточных газов
Как и все масс-спектрометрические приборы, квадрупольные масс-спектрометры состоят из трех частей: источника ионов, анализатора и детектора. Для работы всех компонентов квадрупольного масс-спектрометра требуется высокий вакуум. Частицы нейтрального газа ионизируются в источнике ионов. Распространенным методом ионизации, является ионизация электронным ударом.
Образующиеся таким образом ионы проходят через экстракционные линзы, прежде чем попасть в анализатор с его электрическим квадрупольным полем.
Используя напряжение, включающее как переменную, так и постоянную составляющую напряжения, внутри 4 высокоточных металлических стержней создается электрическое поле. Именно в этом квадрупольном поле происходит распознавание ионов на основе отношения их массы к заряду.
Соответственно, только ионы одного вида могут проходить через систему стержней и достигать детектора. Все остальные ионы находятся на нестабильных траекториях и исключаются в приборе. В простейшем виде детектор представляет собой электропроводящее полое тело, известное как чашка Фарадея. Ионы нейтрализуются высвобождением зарядов, а возникающий ток регистрируется.
Чаши Фарадея достаточно с точки зрения мощности сигнала для проведения анализа остаточных газов в высоком вакууме. В условиях наличия очень малых ионных токов, как в диапазоне сверхвысокого вакуума, или когда требуется очень быстрое измерение, обычно используется вторично-электронный умножитель (ВЭУ). Используя такую масс-спектрометрическую установку, пользователь может определить, какие вещества всё ещё присутствуют в вакуумной системе.
Системы подачи газа, разработанные для разных диапазонов давления, позволяют пользователю точно настроить давление для квадрупольных масс-спектрометров. Поскольку использование квадрупольных масс-спектрометров при слишком высоком для них давлении может привести к повреждению приборов, рекомендуется интегрировать систему измерения общего давления.
К квадрупольным масс-спектрометрам предъявляются самые разные требования:
• для измерения остаточного газа в сверхвысоком вакууме используются сеточные ионные источники с особенно низкой скоростью газовыделения;
• для анализа молекулярного пучка применяются перекрёстные ионные источники;
• осевые ионные источники отличаются очень хорошей линейностью в широком диапазоне давления.
Если вы решили купить квадрупольный масс-спектрометр, отправьте заявку через наш сайт, или позвоните нам по одному из номеров, указанных в разделе «Контакты».
Мегагрупп.ру