Скачать документацию
Отправить запрос
Главная
/
Вакуумная техника
/
Pfeiffer Vacuum
/
Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности

Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности

Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности

• быстрота действия - 100 м3
• предельное давление - 5*10-3 Торр

• быстрота действия - 200 м3/ч
• предельное давление - 8·10-3 гПа

Безмасляные форвакуумные насосы для полупроводниковой промышленности

• максимальная скорость откачки от 110 до 2300 м3/час

Безмасляные форвакуумные насосы для полупроводниковой промышленности

• максимальная скорость откачки от 95 до 1700 м3/час

Безмасляные форвакуумные насосы для cредне-химических процессов с пониженным энергопотреблением

• максимальная скорость откачки от 120 до 900 м3/час

Серия ADH была разработана специально для применений в сложных процессах солнечного, полупроводникового и светодиодного рынков, предлагая скорость откачки от 600 до 4500 м³/ч


Безмасляные насосы для быстрой откачки больших объёмов

• максимальная скорость откачки: 570 м3/час
• Время откачки (с атмосферы до 0,1 бар): 3*10-4 мбар

Большие безмасляные форвакуумные насосы для работы в жёстких условиях

• скорость откачки по азоту от 2 100 до 5 100 м3/час
• скорость откачки по водороду от 2 000 до 4 000 м3/час

Скачать документацию
Контакты