Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности

Серия A100L

Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности

• быстрота действия - 100 м³/ч
• предельное давление - 5*10^-3 Торр

Серия A200L

• быстрота действия - 200 м3/ч
• предельное давление - 8·10-3 гПа

Серия A4H/A4X

Безмасляные форвакуумные насосы для полупроводниковой промышленности

• максимальная скорость откачки от 110 до 2300 м³/час

Серия A3P

Безмасляные форвакуумные насосы для cредне-химических процессов с пониженным энергопотреблением

• максимальная скорость откачки от 120 до 900 м³/час

Серия ADH

Серия ADH была разработана специально для применений в сложных процессах солнечного, полупроводникового и светодиодного рынков, предлагая скорость откачки от 600 до 4500 м³/ч