Высокопроизводительные безмасляные насосы для новейших технологических процессов серия ADH

Новые высокопроизводительные безмасляные насосы для новейших технологических процессов

Серия ADH была разработана специально для применений в сложных процессах солнечного, полупроводникового и светодиодного рынков предлагая скорость откачки от 600 до 4500 м³ / ч.

Высочайшая скорость перекачки водорода при минимальных эксплуатационных расходах
Одно из самых больших преимуществ серии ADH является его высокая скорость перекачки водорода, это позволяет производи более быстрое вакуумированию из камеры между этапами процесса. В сочетании с большим допуском расхода потока, это делает насосы ADH подходящими для самых требовательных технологических процессов. Благодаря оптимизированной конструкции, насосы предлагают наилучшее энергопотребление на рынке при таком уровне производительности насоса.

Отсутствие промежуточного обслуживания
Все подшипники смазываются маслом и не нуждаются в обслуживании на месте. Улучшенный допуск порошка, управление конденсацией и режим холостого хода помогают снизить эксплуатационные расходы.

Высокая устойчивость к побочным продуктам процесса
Насосы оснащены контурами водяного охлаждения с двойной температурой и встроенной продувкой горячим азотом для предотвращения накопления или конденсации порошка. Мощный двигатель может выдерживать большие нагрузки порошка и гарантирует хорошие возможности повторного запуска. Обновленные с помощью совершенно новой системы мониторинга функции серии ADH помогают повысить надежность процесса.

Надежный и безопасный
Конструкция и материалы серии ADH позволяют выдерживать большие статические и динамические напряжения внутреннего давления. Это обеспечивает высочайший уровень безопасности для приложений, в которых используются взрывоопасные газы, такие как водород и силан.

Преимущества
• Скорость откачки до 4 500 м³/ч с сопоставимыми показателями по азоту и водороду.
• Одинаковая производительность с источником питания 50 и 60 Гц.
• Низкий COO из-за низкого энергопотребления и потребления воды
• Высокая пропускная способность порошка
• Большой интервал технического обслуживания благодаря смазанным подшипникам и высокой устойчивости к побочным продуктам процесса
• Повышенная безопасность благодаря превосходной устойчивости к статическим и динамическим внутренним напряжениям.

Приложения
• Полупроводник (ALD, Epitaxy и EUV)
• Плоский дисплей
• Солнечные батареи (a-Si и μ-Si PECVD)
• LED (MOCVD GaN, AlGaAs, AlGaInP…)

Производительность

Технические данные

Тип насоса	AD 600 H	AD 3060 H	AD 4560 H
Пиковая скорость откачки - N₂	600 м³/ч	3300 м³/ч	4500 м³/ч
Пиковая скорость откачки - H₂	550 м³/ч	3200 м³/ч	4500 м³/ч
Предельное давление, мбар	0,02	0,002
Потребляемая мощность	5,5 кВт	6,4 кВт	6,5 кВт
Максимальный уровень шума	65 дБА	67 дБА
Источник питания, 3 фазы	200 - 230 В
Расход охлаждающей жидкости	8 л/мин	9 л/мин
Размеры (ДхШхВ), мм	1234x604x806	1234x604x1194
Вес	830 кг	1 190 кг	1 360 кг
Входное соединение	DN 100 ISO-K	DN 160 ISO-K	DN 200 ISO-K
Выхлопное соединение	DN 50 ISO-KF	DN 50 ISO-KF	DN 50 ISO-KF

Скачать буклет Pfeiffer Vacuum ADH (EN)

Цена

По запросу

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру