Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Высокопроизводительные безмасляные насосы для новейших технологических процессов серия ADH

Pfeiffer Vacuum ADH

Новые высокопроизводительные безмасляные насосы для новейших технологических процессов

Серия ADH была разработана специально для применений в сложных процессах солнечного, полупроводникового и светодиодного рынков предлагая скорость откачки от 600 до 4500 м³ / ч.

Высочайшая скорость перекачки водорода при минимальных эксплуатационных расходах
Одно из самых больших преимуществ серии ADH является его высокая скорость перекачки водорода, это позволяет производи более быстрое вакуумированию из камеры между этапами процесса. В сочетании с большим допуском расхода потока, это делает насосы ADH подходящими для самых требовательных технологических процессов. Благодаря оптимизированной конструкции, насосы предлагают наилучшее энергопотребление на рынке при таком уровне производительности насоса.

Отсутствие промежуточного обслуживания
Все подшипники смазываются маслом и не нуждаются в обслуживании на месте. Улучшенный допуск порошка, управление конденсацией и режим холостого хода помогают снизить эксплуатационные расходы.

Высокая устойчивость к побочным продуктам процесса
Насосы оснащены контурами водяного охлаждения с двойной температурой и встроенной продувкой горячим азотом для предотвращения накопления или конденсации порошка. Мощный двигатель может выдерживать большие нагрузки порошка и гарантирует хорошие возможности повторного запуска. Обновленные с помощью совершенно новой системы мониторинга функции серии ADH помогают повысить надежность процесса.

Надежный и безопасный
Конструкция и материалы серии ADH позволяют выдерживать большие статические и динамические напряжения внутреннего давления. Это обеспечивает высочайший уровень безопасности для приложений, в которых используются взрывоопасные газы, такие как водород и силан.

Преимущества
• Скорость откачки до 4 500 м3/ч с сопоставимыми показателями по азоту и водороду.
• Одинаковая производительность с источником питания 50 и 60 Гц.
• Низкий COO из-за низкого энергопотребления и потребления воды
• Высокая пропускная способность порошка
• Большой интервал технического обслуживания благодаря смазанным подшипникам и высокой устойчивости к побочным продуктам процесса
• Повышенная безопасность благодаря превосходной устойчивости к статическим и динамическим внутренним напряжениям.

Приложения
• Полупроводник (ALD, Epitaxy и EUV)
• Плоский дисплей
• Солнечные батареи (a-Si и μ-Si PECVD)
• LED (MOCVD GaN, AlGaAs, AlGaInP…)

Производительность

pfeiffer_ADH Series-proizvoditelnost    pfeiffer_ADH Series-proizvoditelnost-2

Технические данные

Тип насоса AD 600 H AD 3060 H AD 4560 H
Пиковая скорость отчкачки - N2 600 м3 3 300 м3 4 500 м3
Пиковая скорость отчкачки - H2 550 м3 3 200 м3 4 500 м3
Макс. непрерывный поток на входе - N2 500 ст.л/мин 160 ст.л/мин 110 ст.л/мин
Макс. непрерывный поток на входе - H2 400 ст.л/мин 200 ст.л/мин 120 ст.л/мин
Макс. откачиваемый объём 50 м3 45 м3 40 м3
Макс. предельное давление 2 · 10-2 гПа 2 · 10-3 гПа
Потребляемая мощность при предельном давлении 5,5 кВт 6,4 кВт 6,5 кВт
Максимальный уровень шума при предельном
давлении и макс. скорости потока

65 дБА

67 дБА

Источник питания, 3 фазы, 50 Гц1) 200 - 230 В
Макс. избыточное давление выхлопных газов 1200 гПа
Мин. расход охлаждающей жидкости для макс.
спецификации насоса с непрерывным входным потоком

8 л/мин

9 л/мин

Температура охлаждающей жидкости 10 – 25 °C2)
Диапазон продувочного потока N2 От 10 до 120 ст.л/мин
Объем емкость для масла 2,3 л 3,25 л 3,7 л
Размеры (ДхШхВ), мм 1,234x604x806 1,234x604x1,194
Вес 830 кг 1 190 кг 1 360 кг
Входное соединение DN 100 ISO-K DN 160 ISO-K DN 200 ISO-K
Выхлопное соединение DN 50 ISO-KF DN 50 ISO-KF DN 50 ISO-KF

1) Согласно сертификации CE, насосы могут выдерживать 10% колебания
2) Испытание проводится до 35 °C: температура регулирования при высоком давлении составляет не менее 70 °C при скорости потока до 100 ст.л/мин
Все значения приведены для источника питания 50 Гц.

000pdf Скачать буклет Pfeiffer Vacuum ADH (EN)

Цена
По запросу
Отправьте запрос для уточнения стоимости и сроков поставки
Ф.И.О.*
Предприятие (работаем только с юр. лицами)*
E-mail для связи*
Телефон для связи*
Комментарий (детали запроса)
Прикрепить файл (фото, ТЗ при наличии)
не более: 1