Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности A 200 L с самой высокой производительностью

Насос A 200 L гарантирует высочайшую производительность для приложений с блокировкой нагрузки благодаря пиковой скорости откачки 200 м3/ч, низкому базовому давлению и его пригодности для тяжелых рабочих циклов. Для наглядности: A 200 L совместим с частотой циклов до 300 откачек в час в загрузочной камере на 20 литров, что более чем в три раза превышает максимальную скорость цикла 100 м3/ч модели A 100 L.
A 200 L также подходит для других легких условий эксплуатации - от использования в передаточных камерах по процессам SEM и PVD до камер предварительной очистки.

Низкая стоимость владения
Благодаря современной многоступенчатой конструкции рутс и высокоэффективному двигателю, потребляемая мощность A 200 L является одной из самых низких в своем классе, при базовом давлении всего 0,7 кВт. По сравнению с моделью A 100 L, энергопотребление снижено на 55%, а скорость откачки увеличена вдвое. Это приводит к снижению эксплуатационных расходов и, как следствие к низким затратам содержания.

Простота интеграции: самый компактный насос в своем классе
A 200 L может быть легко интегрирован в существующее оборудование, даже при очень небольшом свободном пространстве. Его площадь менее 0,17 м2 позволяет считать его самым компактным насосом в своем классе. Кроме того, положение на входе можно гибко регулировать в соответствии с требованиями конкретных применений. Его можно устанавливать как вертикально, так и горизонтально, в зависимости от наилучшей пригодности для конкретной системы.

100% взаимозаменяемость
A 200 L на 100% взаимозаменяемы моделью A 100 L. Благодаря одинаковым размерам, а также одинаковым электрическим и водяным системам охлаждения, A 200 L может легко заменить A 100 L, если требуется более высокая производительность. Отпадает необходимость вкладываться в модификации оборудования.

Преимущества для клиентов
- Высочайшая производительность и непревзойденная пропускная способность
- Минимальная занимаемая площадь в своем классе и двойное входное положение позволяют производить легкую системную интеграцию
- Энергоэффективный и экономичный
- Интегрированная система самоконтроля
- Высокая надежность, не требуется профилактическое обслуживание на месте
- Благодаря 100% взаимозаменяемости с A 100 л, процесс
производительность можно легко повысить, заменив A 100 L на A 200 L

Технические данные

Модель	A 200 L
Скорость вращения	5400 об/мин
Пиковая скорость откачки	200 м³/ч
Макс. предельное давление	1.3·10^-2 гПа
Стандартное предельное давление	8 · 10^-3 гПа
Напряжение питания, 3 фазы, 50-60 Гц	200 - 230 В
Потребляемая мощность	0,7 кВт¹⁾
Макс. уровень шума на макс. скорости	< 58 дБ (А)
Макс. размер тома	1 м³
Макс. частота циклирования (объем 20 л)	300 циклов/час
Непрерывный впускной поток, макс.	25 ст.л/мин
Уровень вибрации на входном фланце 10 - 1000 Гц	<0,14 г
Охлаждающая жидкость	От 100 до 200²⁾ л/ч
Подключение охлаждающей жидкости	1/4 NPT Quick connectors
Размеры ДхШхВ	600х280х300 мм
Вес	100 кг
Температура окружающей среды	От 5 до 40 °C
Размер входа / выхода	NW 50 / NW 25
Интерфейс	SPI 16 or 19 pins I/O
Интерфейс RS-232 / RS-485	опционально
Переменная скорость	от 20 до 100% макс. скорость
Наращивание	Да³⁾
Взаимозаменяемы и обратно совместимы с A 100 L	Да

¹Предельное давление
²Зависимый от цикла
³Только горизонтальный вход

Скачать буклет A200L (EN)

Цена

По запросу

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру