Микро-ионный модуль Granville-Phillips 390 сочетает в себе проверенную технологию микро-ионного ионизационного датчика с миниатюрным датчиком теплопотери Conductron и двумя Пьезорезистивными датчиками для обеспечения точного непрерывного измерения давления от высокого вакуума до атмосферы. Используя свои мембранные датчики, этот продукт способен обеспечивать точное абсолютное давление до атмосферного наряду с точной индикацией перепада давления в вакуумной камере от окружающей среды.
• Непрерывное измерение давления от 10-9 торр до атмосферного
• Прецизионное измерение перепада давления в атмосфере
• Двойные нити датчика ионизации увеличивают время безотказной работы оборудования
• Дополнительные реле уставки для управления процессом
• Аналоговый, RS-485 или DeviceNet выход
• Опционально ЖК-дисплей
Параметры
Абсолютный диапазон измерений | 1x10-9 торр в атмосферу 1,33x10-9 мбар в атмосферу 1,33x10-7 Паскалей в атмосферу (воздух или N2) |
Дифференциальный диапазон измерений | от -750 до +250 торр от -999 до +188 мбар от -99,9 до 18,8 кПа |
Рабочая температура | от 10 до 40 °C |
Макс. температура прогрева | макс. 105 °C (со снятой электроникой) |
Температура хранения | от -40 до 70 °C |
Аналоговый выход | Абсолютный: логарифмический, от 0,5 до 7,0 В постоянного тока, 0,5 В на декаду Дифференциальный: линейный 1-5 В постоянного тока, от -750 до +250 торр< |
Соответствие | CE |
X-ray Limit | 3x10-10 торр 4x10-10 мбар 4x10-8 Паскалей |
Модельный ряд
Модель | Тип фитинга | Интерфейс | Реле | Дисплей |
390410-0-YE-T | NW25 ISO-KF | нет | 0 | Нет |
390411-0-YE-T | NW25 ISO-KF | нет | 0 | Графический ЖК-дисплей |
390510-0-YG-T | 2.75 in. CF | RS485 | 0 | Нет |
390510-0-YH-T | 8 VCR male | RS485 | 0 | Нет |
390511-2-YG-T | 2.75 in. CF | RS485 | 2 | Графический ЖК-дисплей |
390511-3-YE-T | NW25 ISO-KF | RS485 | 3 | Графический ЖК-дисплей |
390511-3-YG-T | 2.75 in. CF | RS485 | 3 | Графический ЖК-дисплей |
390610-2-YG-T | 2.75 in. CF | DeviceNet | 2 | Нет |
390611-3-YG-T | 2.75 in. CF | DeviceNet | 3 | Графический ЖК-дисплей |