Adixen by Pfeiffer Vacuum разрабатывает оборудование, ориентированное на полупроводниковое производство в течение 25 лет. На основе своего богатого опыта Adixen by Pfeiffer Vacuum произвела новую линейку высокоскоростных форвакуумных безмасляных насосов. Эти насосы способны удовлетворить самые невероятные технические задания по скорости откачки загрузочных камер в производстве плоских панелей, солнечного или промышленного производства.
Линейка представлена в двух версиях в зависимости от скорости откачки: AD30KL и AD70KL.
Области применения
• производство плоских панелей
• солнечных батарей
• загрузочные и передаточные камеры объёмом до 10 м3
Примерное время откачки объёмов от 250 до 2000 литров от 15 до 60 сек
Особенности • уникальный автоматический бустерный режим • уникальный автоматический режим ожидания • высокая скорость откачки с атмосферы • надежный механизм откачки • энергосберегающий режим • возможность продувки |
Преимущества • минимальные габаритные размеры • низкое потребление энергии • низкий уровень шума • быстрая откачка • высокая надежность, низкие требования к обслуживанию • низкая стоимость владения • низкая стоимость и простота обслуживания • низкое потребление энергии в режиме ожидания • низкий предельный вакуум • возможность работы с агрессивными газами • компьютерная система контроля за параметрами и состоянием насос |
Производительность
AD30KL | AD70KL | |
Скорость откачки на атмосферном давлении, м3/ч | м3/час л/мин |
570 9500 |
Время откачки (с атмосферы до 0,1 бар) | мбар торр |
3*10-4 2*10-4 |
Номинальный откачиваемый объём, л. | мбар торр |
10-3 7,5*10-4 |
Предельное давление с продувкой, мбар | кВт | от 1,3 до 1,6 |
Потребление питания, кВт | 5,5 кВт 1,8 кВт в режиме ожидания |
|
Питание | 380/480В или 208/220В |
|
Потребление воды на охлаждение, л/мин | 8 | |
Входной фланец | ISO KND160 | |
Выхлопной фланец | ISO KDNF50 | |
Уровень шума | 71 | |
Размеры и вес | 1560х515х1086 920 кг |
1600х610х1248 540+690 кг |
СОВРЕМЕННЫЕ РЕШЕНИЯ ДЛЯ FPD (ПЛОСКИХ ПАНЕЛЕЙ) И СОЛНЕЧНОЙ ЭНЕРГЕТИКИ |