Высокочастотные генераторы плазмы серии SurePower

Высокочастотные генераторы плазмы серии SurePower
		Серия ВЧ генераторов плазмы SurePower - идеальное решение для PECVD, HDPCVD, PVD, ALD, а также процессов травления. Опционально генераторы могут оснащаться системой автоматической подстройки частоты и встроенным Вольт-Амперным датчиком.

Характеристики высокочастотных генераторов плазмы серия SurePower
МОДЕЛЬ	QL13013	QL10513	QL6513	QL5513	QL3513
Частота	13,56 МГц
Стабильность частоты и точность	±0,005%
Выходная мощность и точность
Динамический диапазон	130-13000 Вт	105-10500 Вт	65-6500 Вт	55-5500 Вт	35-3500 Вт
Точность поддержания	что больше ±1% от уставки или ±0,1% от полной выходной мощности
Выходная мощность при КСВН
1,1:1	13000 Вт	10500 Вт	6500 Вт	5500 Вт	3500 Вт
1,5:1	13000 Вт	10500 Вт	6500 Вт	5500 Вт	3500 Вт
2:1	10400 Вт	8400 Вт	5200 Вт	4400 Вт	2800 Вт
3:1	7800 Вт	6300 Вт	3900 Вт	3300 Вт	2100 Вт
Требования
Охлаждение	водяное
Рабочая температура	5-40^оС
Интерфейс
Цифровой	RS232
Аналоговый	9-pin
Размеры и комплектация
Размер	17"x24"x5,25"	17"x24"x5,25"	17"x24"x5,25"	17"x24"x5,25"	8,5"x23"x5,25"
ВЧ-разъём	LC-тип	LC-тип	LC-тип	LC-тип	HN-тип
Вес	54,5 кг	54,5 кг	54,5 кг	54,5 кг	27,3 кг

Мегагрупп.ру