Модель |
1479D |
1480A ALTA |
MC20 ALTA |
ВП в азотном эквиваленте |
10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm |
10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000, 30000 sccm |
50, 100, 200 slm |
Диапазон измерения |
от 2% до 100% от ВП |
от 2% до 100% от ВП |
от 2% до 100% от ВП |
Точность |
±1% от ВП |
±1% от ВП |
±1% от ИВ для диапазона |
Воспроизводимость |
±0,2% от ВП |
±0,2% от ВП |
±0,2% от ВП |
Изображение |
|
|
|
Скачать |
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |
P4B |
PFC-20 πMFC |
PFC-50 πMFC |
PFC-60 πMFC |
10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000, 30000, 50000 sccm |
2, 5, 10, 20 sccm |
5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000, 30000, 50000 sccm |
5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000, 30000, 50000 sccm |
от 2% до 100% от ВП |
от 2% до 100% от ВП |
от 2% до 100% от ВП |
от 2% до 100% от ВП |
±1% от ИВ для диапазона |
±1% от ИВ для диапазона |
±1% от ИВ для диапазона |
±1% от ИВ для диапазона |
±0,3% от ИВ |
±0,2% от ВП |
±0,2% от ВП |
±0,2% от ВП |
|
|
|
|
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!) |