Уменьшение концентрации фторидов в отработанной воде – важная задача для полупроводниковой и схожими по виду деятельности отраслям промышленности. Плавиковая кислота и фториды, образуемые после промывки камеры плазменного травления токсичны. Свободные ионы фтора крайне опасны для здоровья, так как повреждают мягкие ткани и кости. Максимальная концентрация фторидов в отработанной воде определяется и ограничивается местным законодательством. Centrotherm разработал новую технологию переработки фтора для отработанной воды, которая позволяет эффективно уменьшить концентрацию фторидов за один этап и достичь разрешенного ограничения на сброс. Размер системы может быть значительно уменьшен до портативного устройства. CT-Flock-F, недавно разработанный запатентованный хлопьеобразующий реагент, совмещает в себе различные технологические этапы очистки в одном продукте. Таким образом, всего лишь один продукт необходим, чтобы эффективно очистить от фторидов сточные воды. |
|
Преимущества: | Области применения: |
|
- очистка материалов плазмой. |