Серия RPDG - серия импульсных генераторов постоянного тока для мощностей 5-20 кВт. Источники RPDG обеспечивают ассиметричные моно- и биполярные электрические импульсы с сохранением точности, воспроизводимости и гибкости непрерывных источников Optima. Частота повторения импульсов настраивается пользователем в диапазонах 25-125 кГц или 50-250 кГц, в зависимости от модели, что делает возможной настройку под изготовление множества видов тонких пленок, включая Al2O3, BST, PZT, Ta2O5, TaN, TiN, ITO, SiO2, ZnO и SiN. |
МОДЕЛЬ |
RPDG-50 |
RPDG-100 |
RPDG-200 |
Частота |
программируемая 25-125 кГц или 50-250 кГц |
||
Цикл |
программируемый 0-40% (Reverse Bias) |
||
Мощность |
5000 Вт |
10000 Вт |
20000 Вт |
Регулировки по |
Напряжению, Силе тока, Мощности |
||
Режимы работы |
Ramping, Run Time, Joule, Sequence, Constant Run |
||
DC линейность/точность не зависимо от режима режим регулировки по мощности |
±0,1%: 10-100% от номинальной мощности |
||
Требования | |||
Электропитание |
380 В / 50Гц |
||
Охлаждение |
Воздушное |
||
Рабочая температура |
5-40оС |
||
Интерфейс | |||
Цифровой |
RS232 |
||
Аналоговый |
9-pin |
||
Размеры и комплектация | |||
Размер |
5,22"x18,9"x24,8" |
||
Разъём |
UHF "мама" или пластина |
||
Вес |
25 кг |