Импульсные генераторы постоянного тока серии RPDG

Серия RPDG - серия импульсных генераторов постоянного тока для мощностей 5-20 кВт. Источники RPDG обеспечивают ассиметричные моно- и биполярные электрические импульсы с сохранением точности, воспроизводимости и гибкости непрерывных источников Optima. Частота повторения импульсов настраивается пользователем в диапазонах 25-125 кГц или 50-250 кГц, в зависимости от модели, что делает возможной настройку под изготовление множества видов тонких пленок, включая Al₂O₃, BST, PZT, Ta₂O₅, TaN, TiN, ITO, SiO₂, ZnO и SiN.

Характеристики

МОДЕЛЬ	RPDG-50	RPDG-100	RPDG-200
Частота	программируемая 25-125 кГц или 50-250 кГц
Цикл	программируемый 0-40% (Reverse Bias)
Мощность	5000 Вт	10000 Вт	20000 Вт
Регулировки по	Напряжению, Силе тока, Мощности
Режимы работы	Ramping, Run Time, Joule, Sequence, Constant Run
DC линейность/точность не зависимо от режима режим регулировки по мощности	±0,1%: 10-100% от номинальной мощности ±0,25%: 1-10% от номинальной мощности
Требования
Электропитание	380 В / 50Гц
Охлаждение	Воздушное
Рабочая температура	5-40^оС
Интерфейс
Цифровой	RS232
Аналоговый	9-pin
Размеры и комплектация
Размер	5,22"x18,9"x24,8" 132,5x480x631 мм
Разъём	UHF "мама" или пластина
Вес	25 кг

Размеры импульсных генераторов постоянного тока серии RPDG

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру

Импульсные генераторы постоянного тока серии RPDG

Размеры импульсных генераторов постоянного тока серии RPDG