Дифференциальная насосная система серии 835

Система расширяет диапазон давления вакуума отмеченного наградами высокоэффективного контроля качества вакуума для решения задач контроля и управления рабочими процессами при давлении до 3 Торр. Все преимущества VQM (Vacuum Quality Monitor), включая скорость и простоту использования, теперь можно использовать для оптимизации PVD, ионного имплантата, нанесения покрытий и иных вакуумных процессов для повышения производительности, улучшения результатов и экономии средств.

• Рабочий диапазон от 3 Торр до 5х10^-9 Торр
• Измерение парциального давления 1-145 а.е.м. за 85 мс (доступно 1-300 а.е.м)
• Мгновеннон получение информации о 10 наиболее распространенных газах
• Точные измерения водорода и гелия (без нулевого взрыва)
• Регистрация данных с частотой дискретизации 85 мс
• Простая калибровка одним газом с использованием газа, уже находящегося в вакуумной системе.

Технические данные

Диапазон масс	от 1 до 145 а.е.м. или от 1 до 300 а.е.м.
Рабочая температура	от 5 до 40 °C
Вес	10,88 кг плюс вес задвижки
Диапазон давления	от 3 Торр до 10^-5 Торр через отверстие, до 5x10^-9 Торр через препускную задвижку
Время отклика	85 мс (1–145 а.е.м.) или 120 мс (1-300 а.е.м.)
Динамический диапазон

Модельный ряд

Модель
835901-DP-1M1-1	отверстие 3, 90-3000 мТорр, ручное, 1-145 а.е.м.
835901-DP-2P1-1	Отверстие 2, 9-350 мТорр, пневматическое, 1-145 а.е.м.
835901-DP-3M1-1	Отверстие 3, 1-45 мТорр, ручное, 1-145 а.е.м.
835901-DP-3M3-1	Отверстие 3, 1-45 мТорр, ручное, 1-300 а.е.м.

Особенности

Дифференциальная откачка

Стандартная настройка дифференциальной насосной системы VQM

Перепад давлений между вакуумной камерой и датчиком VQM достигается за счет ограничения проводимости датчика с помощью отверстия в задвижке и прокачака датчика с помощью турбонасоса. Размер отверстия определяется в зависимости от давления в вакуумной камере. Перепускной запорный клапан можно открыть во время базового выхода, если в камере ниже 10^-5 торр. Если выходная база превышает 1x10^-5 торр, перепускной клапан не требуется. Перепускным клапаном можно управлять как вручную так и электронно. Дополнительный запорный клапан может использоваться для изоляции всей дифференциально перекачиваемой системы от вакуумной камеры при вентиляции камеры или когда анализ газа не требуется.

Полная система 835 DPS включает в себя:
• Датчик парциального давления 835 VQM
• Микро-ионный датчик общего давления 390802
• Перепускной запорный клапан с отверстием
• Турбонасос
• Форвакуумный насос со шлангом
• Соединительный кабель
• Контроллер VQM
• Программное обеспечение VQM Viewer

Особенности программного обеспечения VQM Viewer

• Интуитивно понятный графический интерфейс пользователя
• Отображает 10 лучших газов в вакуумной камере
• Один калибровочный газ
• Выход масс-спектра
• Обнаружение утечек с графическим дисплеем
• DSP для шумоподавления и поиска пиков
• Регистрация данных
• Расширенные настройки и функции настройки
• Встроенные файлы контекстной справки

Диапазоны давления

Диапазон рабочего давления определяется выбранным размером отверстия.

Цена

По запросу

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру