Объединяя лучших
Москва:
Санкт-Петербург:
Новосибирск:
Екатеринбург:
Нижний Новгород:
Челябинск:

Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности A100L / A100L ES

Pfeiffer Vacuum A100L

- Высокая производительность
- Надежный и энергоэффективный
- Низкий уровень вибрации и шума
- Система Plug and Play: встроенный мониторинг
- Дополнительный интерфейс RS-232 / RS-485

Поскольку экологичность - это забота каждого, в компании Pfeiffer Vacuum разработали инновационное решение по энергосбережению (ES) для дальнейшего снижения энергопотребления проверенного насоса A 100 L. Полностью интегрированная и автоматически управляемая опция энергосбережения снижает энергопотребление на 50%, обеспечивая значительное снижение стоимости владения без влияния на пропускную способность и занимаемую площадь. Кроме того, опция энергосбережения отличается более низким базовым давлением и низким уровнем шума.

Особенности

возможность прямого интегрирования в оборудование нет необходимости в длинных форвакуумных линиях, что снижает затраты на установку и подключение
компактность + быстрота действия - 100 м3 замена удаленных откачных систем с производительностью до 500 м3
низкий уровень шума конструктивное исполнение для работы в чистых помещениях
энергоэффективность снижение затрат производства
высокая надежность

Области применения
• шлюзы, загрузочные камеры
• передаточные камеры
• PVD
• SEM
• камеры предварительной обработки/очистки
• камеры отжига

pfeiffer vacuum-a100l-ES    pfeiffer vacuum-a100l-gabarity

Технические данные

Модель A 100 L A 100 L ES
Скорость откачки 100 м3
Предельное давление 6,6 · 10-3 гПа 7 · 10-4 гПа

Напряжение питания, 3 фазы, 50-60 Гц

200 - 208 В
380 - 400 В
200 - 208 В

Потребляемая мощность - предельное давление
                                          - режим ожидания1
1,6 кВт
от 0,5 до 1,2 кВт
<0,8 кВт
от 0,2 до 0,5 кВт
Макс. уровень шума на макс. скорости 58 дБ (А) 55 дБ (А)
Макс. размер тома 1 м3
Продолжительность цикла, макс. на 25 литров 40 с
Непрерывный впускной поток, макс. 20 ст.л/мин
Макс. непрерывный поток на входе
Виброускорение (на входном фланце 10–1000 Гц) 0,1 м с-2
Виброперемещение (на входном фланце 10–1000 Гц) 1,5 мкм
Скорость вибрации (на входном фланце 10–1000 Гц) 1 мм с-1
Подключение охлаждающей жидкости ¼ NPT Быстрое соединение
Расход охлаждающей жидкости, мин. 1,6 л/мин
Подключение сжатого сухого воздуха (CDA) 1/8” Swagelock
Подача давления сжатого сухого воздуха (CDA), мин. 45 кПа
Поток сжатого сухого воздуха (CDA) 2 30 ст.л/мин
Вес 100 кг
Входной вланец DN 50 ISO-KF
Вланец на выходе DN 25 ISO-KF
Интерфейс SPI 16 or 19 pins I/O
Интерфейс RS-232 / RS-485 опционально

1В зависимости от базовых требований к давлению
2Только при активированном модуле ES

000pdf Скачать буклет A100L / A100L ES (EN)

Цена
По запросу
Отправьте запрос для уточнения стоимости и сроков поставки
Ф.И.О.*
Предприятие (работаем только с юр. лицами)*
E-mail для связи*
Телефон для связи*
Комментарий (детали запроса)
Прикрепить файл (фото, ТЗ при наличии)
не более: 1