Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности A100L / A100L ES

- Высокая производительность
- Надежный и энергоэффективный
- Низкий уровень вибрации и шума
- Система Plug and Play: встроенный мониторинг
- Дополнительный интерфейс RS-232 / RS-485

Поскольку экологичность - это забота каждого, в компании Pfeiffer Vacuum разработали инновационное решение по энергосбережению (ES) для дальнейшего снижения энергопотребления проверенного насоса A 100 L. Полностью интегрированная и автоматически управляемая опция энергосбережения снижает энергопотребление на 50%, обеспечивая значительное снижение стоимости владения без влияния на пропускную способность и занимаемую площадь. Кроме того, опция энергосбережения отличается более низким базовым давлением и низким уровнем шума.

Особенности

возможность прямого интегрирования в оборудование	→	нет необходимости в длинных форвакуумных линиях, что снижает затраты на установку и подключение
компактность + быстрота действия - 100 м³/ч	→	замена удаленных откачных систем с производительностью до 500 м³/ч
низкий уровень шума	→	конструктивное исполнение для работы в чистых помещениях
энергоэффективность	→	снижение затрат производства
высокая надежность

Области применения
• шлюзы, загрузочные камеры
• передаточные камеры
• PVD
• SEM
• камеры предварительной обработки/очистки
• камеры отжига

Технические данные

Модель	A 100 L	A 100 L ES
Скорость откачки	100 м³/ч
Предельное давление	6,6 · 10^-3 гПа	7 · 10^-4 гПа
Напряжение питания, 3 фазы, 50-60 Гц	200 - 208 В 380 - 400 В	200 - 208 В
Потребляемая мощность - предельное давление - режим ожидания¹	1,6 кВт от 0,5 до 1,2 кВт	<0,8 кВт от 0,2 до 0,5 кВт
Макс. уровень шума на макс. скорости	58 дБ (А)	55 дБ (А)
Макс. размер тома	1 м³
Продолжительность цикла, макс. на 25 литров	40 с
Непрерывный впускной поток, макс.	20 ст.л/мин
Макс. непрерывный поток на входе
Виброускорение (на входном фланце 10–1000 Гц)	0,1 м с^-2
Виброперемещение (на входном фланце 10–1000 Гц)	1,5 мкм
Скорость вибрации (на входном фланце 10–1000 Гц)	1 мм с^-1
Подключение охлаждающей жидкости	¼ NPT Быстрое соединение
Расход охлаждающей жидкости, мин.	1,6 л/мин
Подключение сжатого сухого воздуха (CDA)	–	1/8” Swagelock
Подача давления сжатого сухого воздуха (CDA), мин.	–	45 кПа
Поток сжатого сухого воздуха (CDA)²	–	30 ст.л/мин
Вес	100 кг
Входной вланец	DN 50 ISO-KF
Вланец на выходе	DN 25 ISO-KF
Интерфейс	SPI 16 or 19 pins I/O
Интерфейс RS-232 / RS-485	опционально

¹В зависимости от базовых требований к давлению
²Только при активированном модуле ES

Скачать буклет A100L / A100L ES (EN)

Цена

По запросу

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру