Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности A100L / A100L ES

- Высокая производительность
- Надежный и энергоэффективный
- Низкий уровень вибрации и шума
- Система Plug and Play: встроенный мониторинг
- Дополнительный интерфейс RS-232 / RS-485

Поскольку экологичность - это забота каждого, в компании Pfeiffer Vacuum разработали инновационное решение по энергосбережению (ES) для дальнейшего снижения энергопотребления проверенного насоса A 100 L. Полностью интегрированная и автоматически управляемая опция энергосбережения снижает энергопотребление на 50%, обеспечивая значительное снижение стоимости владения без влияния на пропускную способность и занимаемую площадь. Кроме того, опция энергосбережения отличается более низким базовым давлением и низким уровнем шума.

Особенности

возможность прямого интегрирования в оборудование	→	нет необходимости в длинных форвакуумных линиях, что снижает затраты на установку и подключение
компактность + быстрота действия - 100 м³/ч	→	замена удаленных откачных систем с производительностью до 500 м³/ч
низкий уровень шума	→	конструктивное исполнение для работы в чистых помещениях
энергоэффективность	→	снижение затрат производства
высокая надежность

Области применения
• шлюзы, загрузочные камеры
• передаточные камеры
• PVD
• SEM
• камеры предварительной обработки/очистки
• камеры отжига

Технические данные

Модель	A 100 L	A 100 L ES
Скорость откачки	100 м³/ч
Предельное давление, мбар	0,012	0,003
Напряжение питания, 3 фазы	200 - 208 В 380 - 400 В	200 - 208 В
Мощность, кВт	1,6	0,8
Макс. уровень шума	58 дБ (А)	55 дБ (А)
Расход охлаждающей жидкости	1,6 л/мин
Вес	100 кг
Размеры (ДxШxВ), мм	600 x 280 x 300
Входной фланец	DN 50 KF
Фланец на выходе	DN 25 KF

Скачать буклет A100L / A100L ES (EN)

Цена

По запросу

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру