Портативные гелиевые течеискатели Pfeiffer Vacuum ASM 390 / 392 с высокими эксплуатационными характеристиками предназначены для работы при высоких скоростях откачки и небольшом времени отклика на крупных объектах испытаний.
Превосходные метрологические характеристики и кратковременность испытаний
Модели представляют собой превосходные решения по поиску течей для полупроводниковой промышленности и производства устройств отображения информации, а также иных применений, в которых высокая скорость откачки и высокая чувствительность прибора являются ключевыми аспектами. Оба прибора полностью удовлетворяют требованиям соответствия Semi S2.
Течеискатели оснащены безмасляным форвакуумным насосом без трения и мощным высоковакуумным насосом, что делает их совершенными приборами для проверки герметичности различных компонентов, работающих в чистых производственных условиях. Модель ASM 392 оснащена дополнительным турбонасосом, что способствует ускорению процедуры поиска течей в целях сокращения времени простоя технологического оборудования.
Долговечность, точность и надежность
Используя модели ASM 390 и 392, можно полностью положиться на результаты проверки на герметичность, выполняемой оператором с любым уровнем квалификации. Течеискатели отличаются превосходными эксплуатационными характеристиками и точностью при минимальном времени отклика, что обеспечивает их высокую эффективность при проведении полевых испытаний.
Эргономичность и высокая маневренность
Pfeiffer Vacuum ASM 390 и 392 разработаны на единой платформе и исключительно эргономичны, благодаря своим приемлемым размерам и высоте, наличию дополнительной рукоятки на передней панели, полноповоротного съемного дисплея, входа на передней панели для удобного подключения к тестовым портам, а также непревзойденной маневренности, дающей возможность доступа к любым испытуемым участкам даже в ограниченном пространстве.
Развитая логика и удобство для пользователя
Наличие большого сенсорного дисплея с четкой цветовой индикацией, встроенного инструментального ящика с модульными отделениями и отделений для хранения вакуумных сильфонов гарантирует пользователю приятное удивление от простоты процедуры поиска течи, при наличии всех необходимых принадлежностей на месте проведения работ.
Габариты
Области применения
Преимущества для покупателя
Время достижения 1.10-9 мбар л/с | 50 литров | 200 литров | 1000 литров |
ASM 392 (35 м3/ч форвакуумный насос) | 1 мин 35 с | 6 мин 30 с | 25 мин 30 с |
ASM 192 T2D+ (50 м3/ч форвакуумный насос) | 1 мин 30 с | 7 мин 15 с | 37 мин 50 с |
Основные технические характеристики
ASM 390 | ASM 392 | |
Рабочие газы | 4He, 3He, H2 | |
Методы испытаний | Вакуумный метод и метод щупа | |
Минимальный регистрируемый поток Гелия (в вакуумной системе) |
1·10-12 мбар л/с | |
Минимальный регистрируемый поток Гелия (утечки газоанализатора) |
1·10-8 мбар л/с | |
Скорость откачки по Гелию (режим чувствительности) |
высокий: 10 л/с нормальный: 3.5 л/с грубая течь: 1 л/с |
высокий: 25 л/с нормальный: 18 л/с грубая течь: 10 л/с |
Форвакуумный насос | 35 м3/ч (ACP 40) | |
Максимальное рабочее давление | 20 / 0.5 / 0.05 мбар | 20 (10 турбонасос) / 0.5 / 0.05 mbar |
Время запуска | 2 мин | |
Входной фланец | DN 40 ISO-KF | |
Электропитание | 100-240 В, 50/60 Гц | |
Масса | 125 кг | 130 кг |
Размеры (включая ручку) ДxШxВ | 1072 х 455 х 1025 мм |