Высокочастотные генераторы плазмы серии ELITE

Высокочастотные генераторы плазмы серии ELITE
		Серия ВЧ генераторов плазмы ELITE представляет собой новое поколение генераторов с высокоскоростной замкнутой системой контроля. Генераторы предлагаются в двух конфигурациях 2U или 3U, имеют воздушное охлаждение и однофазное питание, аналоговый 25-pin и RS232 интерфейсы, опционально оснащаются интерфейсами Profibus и DeviceNet и 2-х строчным ЖК дисплеем с 6 функциональными клавишами. ВЧ генераторы плазмы серии ELITE могут применяться как в качестве источников питания, так и устройства постоянного смещения (DC bias control).

Характеристики высокочастотных генераторов плазмы серия ELITE
Модель	elite 750	elite 600	elite 300
Частота	13,56 МГц
Стабильность частоты и точность	±0,005%
Выходная мощность и точность
Динамический диапазон	1-750 Вт	1-600 Вт	1-300 Вт
Точность поддержания	±2 Вт (1-100 Вт) ±2% Вт (101-750 Вт)	±2 Вт (1-100 Вт) ±2% Вт (101-600 Вт)	±2 Вт (1-100 Вт) ±2% Вт (101-300 Вт)
Воспроизводимость	±1%
Выходная мощность при КСВН
1,1:1	750 Вт	600 Вт	300 Вт
1,5:1	600 Вт	600 Вт	300 Вт
2:1	486 Вт	486 Вт	300 Вт
3:1	384 Вт	384 Вт	300 Вт
∞:1	200 Вт	200 Вт	200 Вт
Требования
Электропитание	220 В / 50Гц
Охлаждение	Воздушное
Рабочая температура	5-40^oС
Интерфейс
Цифровой	RS232
Аналоговый	25-pin
Размеры и комплектация
Размер	2U, full rack 432x381x89 мм	2U, full rack 432x381x89 мм или 3U, half rack 216x381x134 мм	3U, half rack 216x381x134 мм
ВЧ-разъем	N-тип
Вес	9,2 кг
Опционально	- программируемый импульсный режим от 1 Гц до 25 кГц - регулировка мощности через постоянное смещение (DC bias control) - интерфейсы Profibus и DeviceNet - 2-х строчный ЖК дисплей с 6 функциональными клавишами