Система контроля качества вакуума серии 835

Контроллер качества вакуума 835 серии сочетает в себе высочайшую производительность технологии газового анализа с продуманным функциональным дизайном и преобразованием сложных измерений в полезную информацию. Контроллер 835 серии - самый быстрый в мире масс-спектрометр с самой низкой мощностью и полным сбором данных, спектральной деконволюцией и регистрацией данных со скоростью захвата 85 мс для полного диапазона измерений 1–145 а.е.м. или 125 мс для 1–300 а.е.м.

• Информация об измерении полного и парциального давления 1-145 а.е.м. за 85 мс или 1-300 а.е.м. за 125 мс
• Мгновенный доступ к важной информации измерений, включая 10 наиболее распространенных газов
• Точное измерение водорода и гелия (без нулевого взрыва)
• Регистрация данных на всех частотах дискретизации
• Простая калибровка одним газом с использованием газа, уже находящегося в вакуумной системе
• Компактная конструкция и дистанционная установка датчика при помощи кабеля длиной от одного до 20 метров

Технические данные

Диапазон масс	1-145 а.е.м. за 85 мс 1-300 а.е.м. за 120 мс
Trigger In (BNC)	50 Ом, крайний положительный триггер TTL, мин. 1 мс
Trigger Out (BNC)	50 ОМ, активный высокий уровень, TTL, кадровая развертка, или статус VQI
Analog In (BNC)	10к Ом, 0-10 В, разрешение 12 бит
Analog Out (BNC)	от 0 до +5 В с полосой пропускания 30 кГц 3 дБ, вывод сканирования необработанных данных
Индикаторы на передней панели	ExT TP, USB, Trigger IN, Trigger OUT, Analog IN, Analog OUT
Рабочая температура	от 0° до 40 °C
Диапазон температур хранения	от 0 до 80 °C
Относительная влажность	<90%, без конденсации

Модельный ряд

Модель
390802-2-YG-T	Преобразователь вакуума, для 835 VQM, 1x10^-9 торр до АТМ
835100-YG-1D	Датчик контроля качества вакуума, 1-145 а.е.м., съемный кожух
835100-YG-3D	Датчик контроля качества вакуума, 1-300 а.е.м., съемный кожух
835500-U1-1	Контроллер, монитор качества вакуума, 1-145 а.е.м., 110 В
835500-U3-1	Контроллер, монитор качества вакуума, 1-300 а.е.м., 110 В

Система контроля качества вакуума, производительность UHV

Демонстрация эксплуатационных характеристик системы вакуумного контроля качества MKS Instruments

Описание системы

В любой вакуумной системе необходимо знать давление вакуума. Во многих случаях не менее важно знать ещё и состав газов. 835 VQM - это масс-спектрометр, который работает от сверхвысокого вакуума до 1x10^-5 торр и точно измеряет газы в вакуумной камере. Система VQM (Vacuum Quality Monitor) состоит из датчика масс-спектрометра с авторезонансной ионной ловушкой, контроллера VQM и программного обеспечения VQM Viewer, которое преобразует необработанные данные в полезную информацию. Логометрическая система определяет соотношение каждого газа к другим газам в вакуумной камере. Как правило соединение происходит с манометром полного давления для измерения парциальных давлений каждого газа, что позволяет оценить качество вакуума в камере.

По умолчанию отображается 10 наиболее распространенных газов, отклонения общего давления (с дополнительным манометром общего давления), отклонения парциального давления, спектральный дисплей, регистрацию данных, сбор данных, библиотеку газовых фитингов для 10 газов и проверку утечек. Контроллеру и датчику для работы требуется не более 15 Вт, а также возможность удаленного монтажа VQM 835 с использованием кабеля длиной от 1 до 50 метров.

Цена

По запросу

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру