Взяв за основу проверенные технологии основанные на технологии многоступенчатого Рутса, разработанные и проверенные за последние 20 лет в полупроводниковой промышленности, а также взяв преимущество насосов третьей серии - надежность, Adixen by Pfeiffer Vacuum представляет новую серию сухих насосов.
Эти насосы в состоянии удовлетворить требованиям самого сложного технологического процесса, применяются для производства плоских панелей, фотовольтаики и полупроводников и в процессах требующих высокую скорость откачки по Водороду.
Модельный ряд представлен тремя версиями насосов: AD43KH, AD63KH и AD103KH.
Особенности
• прочная рамная конструкция
• улучшенная коррозионная стойкость
• может работать в сильно запыленной атмосфере
Расширенный температурный диапазон
• исключает конденсацию побочных продуктов с высокой температурой
• предотвращает возможность термических реакций в температурно-чувствительных процессах
Низкая стоимость владения
• капитальный ремонт при наработке 2-3 лет (высокая наработка на отказ)
• низкая потребляемая мощность от 3,6 до 5,8 кВт
• малое потребление охлаждающей воды
Низкий уровень шума
Компьютерная система контроля за параметрами и состоянием насоса
Области применения
• плоские панели
• солнечная энергетика
• полупроводники
Процессы
• осаждение атомного слоя в жестких условиях (на основе Ti)
• плазмохимическое осаждение
• химическое осаждение
• химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений
• травление
• работа с NF3, SiH4 / H2
Производительность
AD43KH | AD63KH | AD103KH | |
Скорость откачки по азоту, м3/ч | 2100 | 3950 | 5100 |
Скорость откачки по водороду, м3/ч | 2000 | 3700 | 4000 |
Предельное давление без продувки, мбар | 9*10-4 | 2*10-4 | 2*10-4 |
Предельное давление с продувкой, мбар | 5*10-3 | 1*10-3 | 1*10-3 |
Потребление питания, кВт | 3,6 | 4,9 | 5,8 |
Питание | 380/480 В 3-х фазное или 208/220 В | ||
Потребление воды на охлаждение, л/мин | 3 | 4 | 4 |
Входной фланец | ISO-K160 | ISO-K200 | ISO-K200 |
Выхлопной фланец | ISO KF40 | ||
Уровень шума | 71 | 75 | 75 |
Размеры и вес | 1330х665х985 770 кг |
1455х770х1544 590+560 кг |
1455х770х1647 590+810 кг |
AD3KH серии AD43KH / AD63KH / AD103KH: современные решения для FPD, PV и SC |