Система влажной утилизации с дожигом CT-BW

Серия CT-BW использует свои высокоэффективные решения в полупроводниковом производстве и областях промышленности со схожими процессами. Так как в новейших технологиях побочными продуктами являются высококоррозионные газы, а новое оборудование использует повышенную газовую нагрузку, более совершенные технологии утилизации представлены компанией CT clean solutions.

Серия CT-BW отвечает этим новым требованиям. Помимо возможностей FLM серии, таких, как высокая эффективность очистки от фтороуглеродов и других газов, надежная утилизация всех побочных продуктов процессов осаждения и травления, возможность выбора различных газов в качестве топлива и соответствие международным требованиям, новая система разработана быть коррозиеустойчивой и способной переработать большое количество твердых продуктов реакции.

Прямой дизайн входной и выходной трубы в купе с возможностью управления по температуре, а также разделением функциональных блоков, таких, как камера сгорания, увлажнитель, резервуар для жидкости и охлаждающая система, минимизируют риск закупорки и позволяют увеличить межремонтный ресурс оборудования.

Преимущества:

Модульный дизайн.
Высокая устойчивость к коррозии, благодаря использованию специальных материалов.
Возможность переработки большого количества отложений.
Расширенный межремонтный ресурс с небольшим средним временем ремонта.
Полноразмерная секция увлажнителя с возможностью адаптации к различным газовым нагрузкам.
Разделенная система охлаждения, выдерживающая высокие энергетические нагрузки, например большое количество водорода на входе.
Удобство сервисного обслуживания.
Соответствие международным требованиям.

Технические параметры

Давление азота: от 7 до 10 бар
Давление топливного газа (CH₄, H₂, C₃H₈): от 0,25 до 1,25 бар
Давление кислорода: от 4 до 5 бар
Давление сорбента (NaOH/KOH): < 1 бар
Давление пресной воды: от 3 до 7 бар
Давление сточных вод: от 0 до 2 бар
Давление охлаждающей жидкости на входе: от 4 до 6 бар
Давление охлаждающей жидкости на выходе: от 0 до 4 бар
Давление отходящего газа на входе: от –0,5 до 130 мбар
Давление очищенного газа на выходе: от –7,5 до –10 мбар

Скачать буклет Centrotherm CT-BW

Цена

По запросу

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру