Для откачки объёмов от 1 до 10 и более м3
Некоторые преимущества насосов серии АСР:
- Благодаря отсутствию трения, не происходит износ рабочих поверхностей и характеристики насоса остаются неизменными в период всего срока эксплуатации по сравнению со спиральными насосами
- Благодаря отсутствию трения и масла на элементах насоса соприкасающихся с откачиваемым газом, не происходит загрязнения откачиваемого объёма ни посторонними частицами (материал ротора и статора), ни масляными парами
- Большой опыт компании adixen by Pfeiffer Vacuum в производстве и эксплуатации насосов Рутса является гарантией высокой надёжности. Безмасляные насосы adixen by Pfeiffer Vacuum - лидеры по использованию в полупроводниковой отрасли
- Недорогое и простое техническое обслуживание предполагает замену несущего подшипника ступени низкого давления каждые 17 000 часов работы и чистку внутренних поверхностей с заменой всех подшипников через каждые 34 000 часов работы
- Благодаря относительно небольшим габаритам насосы легко интегрируется в ограниченное пространство
- Водяное охлаждение
- Модификация для откачки больших объёмов и химстойкая
Общая информация
Этот тип безмасляных форвакуумных насосов был разработан в ответ на постоянно растущей на рынке вакуумного оборудования потребностью в простых и относительно недорогих (в отличие от насосов, применяемых в полупроводниковой промышленности) безмасляных откачных средствах. Применение безмасляных форвакуумных средств откачки позволяет пользователю перейти на полностью безмасляные откачные системы. Во многих областях, особо требовательных к чистоте откачиваемого объёма от паров масла, возникла необходимость заменить традиционные пластинчато-роторные насосы, работающие по принципу масляного клина, на полностью безмасляные аналоги.
Принципиально, насос серии АСР - это многоступенчатый насос Рутса. Благодаря высокой точности изготовления деталей и хорошей сбалансированности роторов насоса у него полностью отсутствует трение в проточной части, что позволяет избежать применения вакуумного масла, получать особо чистый вакуум, обеспечить длительную эксплуатацию без планового обслуживания. Этот тип насосов отличается компактностью и высокой надёжностью. Насосы серии АСР сравнимы по своим размерам с пластинчато-роторными насосами, однако обеспечивают полностью безмасляную откачку и максимальное разряжение на уровне 10-3 мбар.
Модификации насосов
Стандартная модификация
Предназначена для работы с некоррозионными чистыми газами.
Основные области применения стандартной модификации:
- системы напыления
- научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы
- вакуумная сушка
- установки контроля герметичности
Химстойкая модификация "G"
Предназначена для откачки газов с примесями и коррозионных газов. Оборудована системой напуска газа для продува подшипников инертным газом.
Рекомендована к применению:
- контроль за ходом технологического процесса
- ионные процессы
- шлюзы и запорные механизмы вакуумных установок, связанных с химически агрессивными средами, реактивные процессы и т.д.
Модификация для откачки больших объёмов
Насосы специально разработаны для откачки больших объёмов вплоть до 10 м3.
Основные области применения этой модификации:
- имитаторы космического пространства
- вакуумная сушка
- откачка больших объемов
Технические характеристики мощных безмасляных форвакуумных насосов промышленного применения - серия ACP 120 и ACG 600