Vision 2000-B - базовый вакуумный анализатор остаточных газов

Vision 2000-B предназначен для отслеживания уровней потенциально вредных остаточных газов, которые могут негативно повлиять на качество продукта - например, на осаждении алюминия может негативно сказаться присутствие O₂ и H₂O, чприводящее к плохим характеристикам внутренней структуры пленки и шероховатости ее поверхности. Vision 2000-B использует технологию «smart head» от Microvision 2. Электронный модуль устанавливают непосредственно на головку анализатора и подключается к ПК системы через интерфейс локальной сети Ethernet.

• Контроль вакуумной откачки, базовых условий и условий подсоса воздуха
• Стандартный диапазон масс 100 а.е.м с (200 а.е.м или 300 а.е.м опционально)
• Process Eye Professional или дополнительное программное обеспечение TOOLweb RGA
• Возможность одновременной работы нескольких датчиков
• Интеграция с устройствами отсечки и сигнализации
• Уровни аварийных сигналов, которые динамически изменяются в зависимости от положения щелевого клапана.

Технические данные

Анализатор открытых источников ионов

Анализатор источника открытых ионов содержит две катодные нити накаливания. Вторая «резервная» нить обеспечивает непрерывную работу в случае выхода из строя первой нити. Конструкция анализатора, допускающая обслуживание пользователем, позволяет без труда демонтировать и разбирать источник ионов для чистки. В стандартную комплектацию системы входит анализатор с двойным фильтром для повышенной чувствительности образцов с более высокой массой, устойчивости к загрязнению и улучшенной долговременной стабильности.

Варианты системы

Системы могут быть оснащены подогревом и пневматическим запорным клапаном. 3-ходовой пневматический клапан для ручного управления запорным клапаном является стандартным, и дополнительные узлы реле давления могут быть выбраны для обнаружения в течение миллисекунд, когда клапан открывается или закрывается на приборе. Это обеспечивает системы Vision 2000-B универсальностью, позволяющей полностью удовлетворить требования к применению любого вакуумного базового процесса АОГ.

Аппаратно-программная платформа управления Process Eye Professional

Анализатор Vision 2000-B использует очень гибкое модульное приложение Process Eye Professional,  работающее под 32-битной или 64-битной ОС Windows XP, Vista, 7, 10 или Server 2008. Разработанное с использованием структуры «клиент/сервер», приложение Process Eye Professional поддерживает протокол TCP / IP для полной совместимости на сетевом уровне.

Process Eye Professional применяет так называемые «сценарии» (наборы программных параметров) для того, чтобы указать, каким образом прибор должен сканировать и отображать данные, а также реагировать на получаемые данные. Эти сценарии настраиваются пользователем с помощью программного модуля “Recipe Wizard” [Мастер сценариев] и отлично подходят для мониторинга различных фаз циклически повторяющихся сценариев.

Сценарии могут быть связаны друг с другом для удовлетворения различных условий мониторинга или для облегчения автоматической калибровки (с использованием заранее настроенных сценариев калибровки). Запуск нужного сценария Process Eye Professional нажатием кнопки (или сигналом внешнего устройства) делает ненужным постоянное использование высококвалифицированных операторов. Гибкость платформы Process Eye Professional позволяет настраивать сценарии, которые будут:

• Определять параметры сбора и отображения данных
• Отображать данные одновременно в форматах «гистограмма» и «data trend», что позволяет проводить всестороннее и информативное исследование значимых ходов событий
• Включать пользовательские предупреждения и аварийные сигналы, срабатывающие или прекращающиеся, когда данные указывают на то, что условия процесса отклонились от нормальных условий или когда происходят определенные события (например, открытие/закрытие клапанов)
• Контролировать и отображать другие параметры в виде событий в соответствующих единицах измерения (температура, расход газа, мощность, давление и т. д.) которые связаны с анализатором Vision 2000-B через его гибкий аналоговый и цифровой входы/выходы.

Кроме того, Process Eye Professional обеспечивает формат отображения «live history» [оперативная динамика процесса] для быстрого онлайн-анализа событий тенденции данных. Спектральные характеристики недавно полученных гистограмм сохраняются в буфере данных. Их можно просмотреть, наведя курсор на эскиз соответствующей тенденции.

TOOLweb RGA

Используя опцию интеграции датчика RGA TOOLweb для технологического оборудования, Vision 2000-B можно использовать в качестве датчика перемещения, датчика буфера или датчика загрузочной камеры в условиях полностью автоматизированной производственной среды. TOOLweb АОГ поддерживает постоянный мониторинг функционирования оборудования, используя данные всех датчиков, обрабатываемые микропроцессором, до тех пор, пока не будут обнаружены условия применения моделей аварийных сигналов. Доступна полная передача аварийных сигналов и данных на хост-устройство данных масс-спектрометрии FAB и FDC. Поэтому возможен мониторинг состояния рабочей камеры в режиме реального времени и определение любых отклонений процесса от идеальных условий.

Сферы применения

Vision 2000-B - это специализированный прибор, предназначенный для мониторинга условий вакуумной откачки, базовых условий и условий подсоса воздуха в системах производства полупроводниковых и тонкопленочных продуктов. А также для оповещения об условиях, которые могут негативно повлиять на выход продуктов. Кроме того, Vision 2000-B предоставляет информацию, необходимую для оптимизации качества вакуума используя средства:

• мониторинга остаточных газов, в том числе воздуха и водяных паров
• мониторинга загрязнений, в том числе углеводородов

Данные, рекомендуемые вашему вниманию

Данные из модуля передачи VGA 2000-B TOOLweb RGA. Точная синхронизация датчиков реле давления щелевого клапана в сопоставлении с данными, получаемыми от прибора по интерфейсу системы (SVIDS), позволяет точно определить, какой щелевой клапан вызывает течь воздуха при срабатывании.

 Скачать буклет Vision 2000-B (En)