Vision 2000-B - базовый вакуумный анализатор остаточных газов

Vision 2000-B предназначен для отслеживания уровней потенциально вредных остаточных газов, которые могут негативно повлиять на качество продукта - например, на осаждении алюминия может негативно сказаться присутствие O₂ и H₂O, чприводящее к плохим характеристикам внутренней структуры пленки и шероховатости ее поверхности. Vision 2000-B использует технологию «smart head» от Microvision 2. Электронный модуль устанавливают непосредственно на головку анализатора и подключается к ПК системы через интерфейс локальной сети Ethernet.

• Контроль вакуумной откачки, базовых условий и условий подсоса воздуха
• Стандартный диапазон масс 100 а.е.м с (200 а.е.м или 300 а.е.м опционально)
• Process Eye Professional или дополнительное программное обеспечение TOOLweb RGA
• Возможность одновременной работы нескольких датчиков
• Интеграция с устройствами отсечки и сигнализации
• Уровни аварийных сигналов, которые динамически изменяются в зависимости от положения щелевого клапана.

Технические данные

Анализатор
Область масс	1-100 а.е.м., 1-200 а.е.м., 1-300 а.е.м.
Макс. рабочее давление	1e-4 мбар
Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея	2,7 · 10⁻¹¹ гПа
Рабочая температура	10-40 ° C
Соединительный фланец	DN 35 CF

Анализатор открытых источников ионов

Анализатор источника открытых ионов содержит две катодные нити накаливания. Вторая «резервная» нить обеспечивает непрерывную работу в случае выхода из строя первой нити. Конструкция анализатора, допускающая обслуживание пользователем, позволяет без труда демонтировать и разбирать источник ионов для чистки. В стандартную комплектацию системы входит анализатор с двойным фильтром для повышенной чувствительности образцов с более высокой массой, устойчивости к загрязнению и улучшенной долговременной стабильности.

Варианты системы

Системы могут быть оснащены подогревом и пневматическим запорным клапаном. 3-ходовой пневматический клапан для ручного управления запорным клапаном является стандартным, и дополнительные узлы реле давления могут быть выбраны для обнаружения в течение миллисекунд, когда клапан открывается или закрывается на приборе. Это обеспечивает системы Vision 2000-B универсальностью, позволяющей полностью удовлетворить требования к применению любого вакуумного базового процесса АОГ.

Скачать буклет Vision 2000-B (En)

Цена

По запросу

ООО "БЛМ Синержи"

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24

Мегагрупп.ру