Многоступенчатые насосы Рутса для чистых применений

Легкие процессы требуют чистого и сухого вакуума. Многоступенчатые насосы типа Рутс от Pfeiffer Vacuum являются идеальным решением для промышленного применения, исследований и разработок.

Многоступенчатые насосы рутса с воздушным охлаждением

Серии ACP соответствует требованиям приложений, где необходим чистый и сухой вакуум.

• SD-версия - предназначена для применений с чистыми и неагрессивными газами
• G-версия - используется в небольших количествах агрессивных газов
• CV-версия - разработана для предотвращения конденсации пара внутри насосного блока

Компактные безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности

Интегрированные легкие технологические насосы с компактными размерами для гибкой интеграции в производстве полупроводников.

Безмасляные насосы для промышленного применения

Обеспечивают преимущества многоступенчатых насосов рутса в промышленных и научно-исследовательских целях, а также в случаях, когда загрязнение твердыми частицами или маслом представляет проблему. Высокая скорость откачки до 560 м3/ч.

Сухие насосы для легких процессов
На основе проверенной технологии безмасляных многоступенчатых насосов Рутса, компания Pfeiffer Vacuum предлагает широкий выбор мощных насосов для легких процессов. Наиболее важными характеристиками насосов в этих применениях являются высокая скорость откачки и робастность, а также высокая надежность.

Многоступенчатые насосы Рутса с воздушным охлаждением серии ACP
Многоступенчатые насосы серии ACP предназначены для применения без использования масла и частиц в диапазоне давлений от атмосферы до 3·10^-2 мбар. Насосы Рутса с воздушным охлаждением являются оптимальной заменой пластинчато-роторных насосов, когда они используются в системах анализа остаточных газов, электронных микроскопах или сверхвысокочастотных системах. Они идеально подходят в качестве вспомогательного насоса для турбомолекулярных насосов.

Специально разработанная версия насосов G предназначена для транспортировки следов агрессивных газов. Эта версия серии ACP рекомендована для шлюзовых камер, систем контроля процесса и применения ионного пучка. Версия CV серии ACP с воздушным охлаждением обладает производительностью водяного пара до 1000 грамм в час. Предназначен для предотвращения конденсации пара в насосном блоке.

ACP 120G и ACG 600G для промышленного применения
На основе десятков тысяч полупроводников технологических насосов, установленных по всему миру, ACP 120 G обеспечивает преимущества многоступенчатых насосов Рутса и в промышленных приложениях. Насос с водяным охлаждением может быть приобретен в качестве стандартной версии для легких условий эксплуатации, а также в качестве версии для продувочного газа для слегка коррозионных процессов или для откачки конденсирующихся сред. ACP 120 G может быть объединен в различные насосные станции с насосами Рутса. Насосная станция Рутс ACG 600 G может быть основой полностью безмасляной насосной системы вакуумных установок нанесения декоративных или инструментальных покрытий.

Компактный безмасляный насос: A 100 L
Компактный безмасляный насос A 100 L был разработан для экономичной интеграции в системах производства полупроводников. Многоступенчатый насос Рутса подходит для использования в чистых помещениях и может заменить внешние насосы со значительно более высокой скоростью откачки. Благодаря регулируемой скорости вращения в режиме ожидания, потребляемая мощность безмасляного насоса A 100 L может быть дополнительно снижена.

Области применения:
• Передаточные камеры
• Распыление
• PVD
• Метрология

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру