Работа аппарата CT-BW Twin с двойной камерой основана на передовой технологии серии CT-BW. Растущий рынок, требующий максимального сокращения издержек на процессы утилизации в промышленном производстве, привел к появлению аппарата CT-BW Twin, который гарантирует максимальное время безотказной работы для современного полупроводникового предприятия при наименьших затратах. Система включает в себя два реактора (камеры сгорания), работающих в, так называемом, режиме «холодного резервирования» с одной общей секцией увлажнения и одной общей емкостью хранения жидкости. Смысл «холодного резервирования» следующий: при работе первого реактора, второй находится в режиме ожидания, и, в случае остановки первого, вследствие сбоя в системе и/или сервисного вмешательства, гарантированно включается второй. Функция утилизации автоматически передается второму реактору, таким образом, обеспечивается непрерывность процесса в целом. |
|
Описание скрубберов серии CT-BW (eng.)