|
FOGALE nanotech, инжиниринговая компания была создана в 1983 году. В настоящее время компания известна во всем мире как производитель систем измерений высокой точности. FOGALE nanotech обеспечивает контроль процесса и характеристик решений для MEMS и полупроводниковых производителей и лабораторий по всему миру и является членом организации SEMI. |
Штаб-квартира FOGALE находится в городе Ним на юге Франции.
Имея высокий уровень знаний в оптической и емкостной метрологии и огромной поддержкой , FOGALE semicon производит стандартные и специальные системы, которые хорошо подходят к новым стандартам метрологии для следующих приложений:
- 3D интегральные микросхемы: Измерение размеров подложки в кассетах
- 3D интегральные микросхемы: Измерение полного распределения толщины (TSV) с высоким соотношением разрешением
- Подложки: контроль размеров моно-и многослойной подложки
- MEMS технологии: Контроль технологических процессов объемных и поверхностных микрообработок и поиск дефектов
- MEMS технологии: 3D Провилометрия поверхности , динамическое измерение, измерение в контролируемой атмосфере
- MEMS технологии: измерение глубины с большим разрешением
Предалагемые продукты:
Установка для бесконтактного измерения свойств поверхности пластин и точности геометрических параметров T-MAP