Генераторы постоянного тока и высокочастотные источники питания

ГЕНЕРАТОРЫ ПОСТОЯННОГО ТОКА И ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ИСТОЧНИКИ ПИТАНИЯ

Подразделения ENI и ASTeX компании MKS Instruments

Подразделения "ENI" и "ASTeX" компании MKS Instruments специализируются на разработке и серийном производстве оборудования для современных плазменных технологий. В перечень входят источники постоянного тока (непрерывные и импульсные), ВЧ-генераторы, СВЧ-генераторы, устройства согласования нагрузки, датчики мощности с обратной связью, СВЧ-источники плазмы.
Продукция "ENI" и "ASTeX" перекрывает широчайший спектр применений в области плазменных технологий.

ИСТОЧНИКИ ПОСТОЯННОГО ТОКА

Модульные (возможность добавления 20 кВт блоков) непрерывные источники тока с встроенной системой подавления дуг, диапазон мощностей 5÷120 кВт.

DCG - переключение между 3-мя диапазонами по мощности, пассивная система подавления дуг; опция - активная система ArcKill (время жизни дуги менее 75 мкс)

OPTIMA - новейшая серия источников постоянного тока. Нет необходимости переключения между диапазонами мощности, пассивная и активная система борьбы с образованием дуг и микродуг (время жизни дуги менее 7,5 мкс).

Импульсные источники постоянного тока серии RPG - мощность 5÷10 кВт, 25÷250 кГц, асимметричные моно- и биполярные импульсы.

ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ

ACG - компактные и легкие генераторы малой мощности - 0,3÷1кВт, 13,56 МГц.

OEM - 0,6÷2,8 кВт, 13,56 МГц.

Genesis - генераторы, с рабочими частотами 1,6, 2, 3,2, 13,56, 27,12 и 40,68 МГц в диапазоне мощности 1,25÷8 кВт.

Spectrum - компактные генераторы. Мощность - 1,5÷10 кВт, частоты 13,56 и 2МГц. Возможность импульсной работы с частотой импульсов 0÷1000Гц.

ОБОРУДОВАНИЕ СОГЛАСОВАНИЯ УПРАВЛЕНИЯ РАБОТОЙ ВЧ-ГЕНЕРАТОРОВ

Устройства согласования Matchwork

Датчик ВЧ-мощности V/I Probe

СВЧ-СИСТЕМЫ ASTEX - 2,44-2,47 ГГЦ, 2-6 КВТ

СВЧ-генераторы, устройства согласования, источники плазмы.

ИСТОЧНИКИ ПОСТОЯННОГО ТОКА ENI

"MKS ENI Products" производит семейство высоконадежных непрерывных и импульсных источников постоянного тока в интервале мощностей 5-60кВт и более. Их конструкция компактна и дает возможность наращивания мощности до 200 кВт путем присоединения дополнительных 20 кВт модулей. Мониторинг и контроль дополнительных модулей осуществляется основным источником, что обеспечивает необходимую точность работы блока во всем рабочем диапазоне и ликвидирует задержки при обнаружении искровых пробоев.
Серии Optima, DCG и RPG представляют собой самый передовой модельный ряд источников постоянного тока для промышленного применения. Сконструированные с акцентом на исключительную воспроизводимость заданных параметров, превосходный контроль дугообразования, высокую надежность и удобство пользования, источники питания "MKS ENI" обеспечивают высокую производительность технологических процессов.

Optima и DCG

Серия "Optima" и "DCG" - это непрерывные источники постоянного тока, обеспечивающие надежную и точную работу в диапазоне мощностей 5-60 кВт и выше, обладают автоматической биполярной системой подавления дуг. Источники этой серии обладают высокими точностью (0,1%) и линейностью для повышенной воспроизводимости.
По желанию пользователя источники питания снабжаются встроенными или дистанционными блоками управления, которые могут быть как аналоговыми, так и цифровыми. Высокая работоспособность и гибкость системы обеспечивается большим набором настраиваемых режимов. "Optima" может использоваться как источник тока, напряжения или мощности в зависимости от выбранного режима. Пользователь может запрограммировать последовательность из различных режимов (до 10), необходимую для его техпроцесса.
В источники серии "DCG" в качестве дополнительного оборудования может устанавливаться улучшенная система подавления дуг "ArcKill" - время детектирования дуги < 50 нс, пиковый ток < 10 A, полная энергия дуги < 0,5 мДж.

RPG

"RPG" - серия импульсных источников постоянного тока для мощностей 5-10 кВт. Источники "RPG" обеспечивают ассиметричные моно- и биполярные электрические импульсы с сохранением точности, воспроизводимости и гибкости непрерывных источников Optima. Частота повторения импульсов настраивается пользователем в диапазонах 25-125 кГц или 50-250 кГц, в зависимости от модели, что делает возможной настройку под изготовление множества видов тонких пленок.

ВЧ ГЕНЕРАТОРЫ ENI

Оптимальное решение для технологий плазменного травления и напыления.
Модельный ряд перекрывает весь диапазон рабочих параметров ВЧ источников питания, необходимых в современном производстве: частоты от 1 до 41 Мгц, мощности от 300 ватт до 10 киловатт. Генераторы "ENI", построенные на полупроводниковой элементной базе, отличаются проверенной высокой надежностью, точностью и стабильностью характеристик. Они становятся неотъемлемыми элементами плазменных установок для современной индустрии полупроводников. Дополнение ВЧ-генераторов производимыми "ENI" устройствами согласования нагрузки Matchwork и датчиками мощности (V/I Probe) делает их самодостаточными системами по управлению технологическим процессом.
ВЧ генераторы "ENI" делятся на четыре группы в соответствии с их рабочими характеристиками и возможностями применения:

- серия "ACG"

Серия компактных ВЧ-генераторов с воздушным охлаждением.
Генераторы ACG применяются для случаев малой потребной мощности (300-1000 Вт) и высокой частоты (13,56 МГц).

- серия "OEM"
ВЧ-генераторы, диапазон мощностей 0,6 - 2,8 кВт на частоте 13,56 МГц.

- серия Genesis

Платформа Genesis сконструирована для надежной работы в разнообразных плазменных технологических установках и отвечает широкому диапазону требований к рабочим характеристикам: частота генерации - 1-41 МГц, мощность - 1,25-8 кВт. Система контроля мощности на базе DSP (Digital Signal Processing) обеспечивает самодиагностику.

- серия "Spectrum"
Компактные генераторы этой серии перекрывают диапазон мощностей от 1,5 до 10 кВт (13,56 МГц). Отличаются модульной конструкцией с возможностью расширения, точностью ± 1%, высокой надежностью и исключительной плотностью ВЧ мощности.

Устройства диагностики и согласования для ВЧ-генераторов

Датчик мощности "V/I Probe"
Точное измерение напряжения, силы тока и разности фаз генерируемой ВЧ-энергии для контроля и оптимизации процесса.
Линейка устройств согласования нагрузки Matchwork (В Series, LD Series, H Series, M Series, Dual Series) предназначена для повышения воспроизводимости и производительности технологических процессов и обеспечивает высокую скорость подстройки для согласования переменного сопротивления в рабочей камере и рабочей нагрузки генератора. Обычно параметры устройств Matchwork подбираются под конкретную конфигурацию установки и соответствуют практически всему диапазону генераторов "ENI" по мощности и частоте.
Устройства согласования нагрузки обеспечивают непрерывное выравнивание сопротивлений разрядной системы для оптимальной передачи ВЧ-мощности от генератора в разрядную камеру. Это дает высокую эффективность в процессах травления, напыления и т.д.

СВЧ-СИСТЕМЫ "ASTeX" - 2,44-2,47 ГГц, 2-6 кВт

СВЧ-системы "ASTeX" представляют собой не только источники СВЧ энергии SmartPower в диапазоне мощности 2-6 кВт. Источники могут быть дополнены высокоточными измерителями мощности PPD с обратной связью, устройствами согласования нагрузки SmartMatch и источниками плазмы AX7610. Источники плазмы мощностью 3 кВт выпускаются в двух версиях для нейтральной и агрессивной среды соответственно с кварцевыми и сапфировыми трубками.
Совокупность СВЧ-элементов "ASTeX" дает возможность построения автоматических плазменных систем для модификации поверхности, обработки полимеров, пассивации, удаления фоторезиста и других современных плазменных технологий.
Одним из решающих достоинств "ASTeX" является возможность индивидуального подхода к потребностям заказчика при выборе оптимального решения для конкретных условий вплоть до исследования и отладки всего технологического процесса в лабораториях производителя.

Сводная таблица источников питания "MKS In.", "ENI".

Модель	Тип устройства	Мощность	Частота	Примечание
DCG-75	источник постоянного тока	7,5 кВт	-	модульная конструкция, воздушное охлаждение, 3-фазное питание 208 и 380 В
DCG-100	источник постоянного тока	5-30 кВт	-
DCG-150	источник постоянного тока	15 кВт	-
DCG-200	источник постоянного тока	20 кВт	-
DCG-400	источник постоянного тока	40 кВт	-
DCG-600	источник постоянного тока	60 кВт	-
RPG-50	импульсный источник постоянного тока	5 кВт	25-125 или 50-250 кГц (частота следования импульсов)	программируемая частота следования импульсов, асимметричные, биполярные импульсы.
RPG-100	импульсный источник постоянного тока	10 кВт	50-250 кГц (частота следования импульсов)
Spectrum B-1513	ВЧ-генератор	1,5 кВт	13,56 МГц	точность по мощности ±1%, точность по частоте ±0,005% опции - графический интерфейс, импульсные режимы 0-1 кГц
Spectrum B-3013	ВЧ-генератор	3 кВт	13,56 МГц
Spectrum B-5513	ВЧ-генератор	5 кВт	13,56 МГц
Spectrum B-10013	ВЧ-генератор	10 кВт	13,56 МГц
Spectrum B-10002	ВЧ-генератор	10 кВт	2 МГц
Genesis GHW-12	ВЧ-генератор	1,25 кВт	13,56 МГц	источник с уменьшенным весом и упрощенной интеграцией в систему, встроенная система мониторинга и контроля.
Genesis GHW-25	ВЧ-генератор	2,5 кВт	13,56 МГц
Genesis GHW-50	ВЧ-генератор	5 кВт	13,56 МГц
Genesis GHW-80	ВЧ-генератор	8 кВт	13,56 МГц
Genesis Nova-25	ВЧ-генератор	2,5 кВт	1,6 и 2 МГц
Genesis Nova-50	ВЧ-генератор	5 кВт	2 и 3,2 МГц
Genesis GEW2527	ВЧ-генератор	2,5 кВт	27,12 МГц
Genesis GEW3040	ВЧ-генератор	3 кВт	40,68 МГц
ACG-3B	ВЧ-генератор	300 Вт	13,56 МГц	компактные ВЧ-генераторы с воздушным охлаждением
ACG-6B	ВЧ-генератор	600 Вт	13,56 МГц
ACG-10B	ВЧ-генератор	1 кВт	13,56 МГц
OEM-12B	ВЧ-генератор	1,25 кВт	13,56 МГц	1-фазное питание 190-250 В
OEM-6	ВЧ-генератор	650 Вт	13,56 МГц	1-фазное питание 190-250 В
OEM-1250	ВЧ-генератор	1,25 кВт	13,56 МГц	3-фазное питание 208 и 380 В
OEM-2000	ВЧ-генератор	2 кВт	13,56 МГц
OEM-28B	ВЧ-генератор	2,75 кВт	13,56 МГц

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру